Erittäin puhdas kvartsi: välttämätön materiaali puolijohdeteollisuudelle

Erittäin puhtaalla kvartsilla on merkittäviä fysikaalisia ja kemiallisia ominaisuuksia. Sen luontainen kiderakenne, muoto ja hilan vaihtelut myötävaikuttavat poikkeuksellisiin ominaisuuksiin, kuten korkeiden lämpötilojen kestävyyteen, korroosionkestävyyteen, kulutuskestävyyteen, alhaiseen lämpölaajenemiskerroin, korkeaan eristykseen, pietsosähköisiin vaikutuksiin, resonanssiefekteihin ja ainutlaatuisiin optisiin ominaisuuksiin. Nämä ominaisuudet tekevät siitä korvaamattoman perustan strategisten ja pilaritoimialojen kehitykselle.

Erittäin puhtaan kvartsin käyttö kattaa useita eri kenttiä, mukaan lukien puolijohteet, aurinkosähkö, optiset kuidut ja sähköiset valonlähteet. Näistä puolijohdeteollisuudella on suurin osuus, jonka osuus sen käytöstä on merkittävä 50 %.

Puolijohteiden valmistuksen ytimessä on siruvalmistus, joka edustaa alan korkeinta lisäarvoa tuottavaa segmenttiä. Sirujen valmistus koostuu pääasiassa neljästä vaiheesta: yksikiteiden kasvatus, kiekkojen käsittely ja valmistus, integroitujen piirien (IC) tuotanto ja pakkaus. Kriittisimmät, monimutkaisimmat ja erityisesti materiaalivaatimusten kannalta vaativimmat vaiheet ovat piikiekkojen valmistus ja kiekkojen käsittely.

Erittäin puhtaat kvartsimateriaalit poikkeuksellisella lämmönkestävyydellä, haponkestävyydellä, alhaisella lämpölaajenemisellaan ja erinomaisella spektrinläpäisevyydellä vastaavat täydellisesti puolijohdeteollisuuden tiukkoja vaatimuksia kantajamateriaalien alkali- ja raskasmetallipitoisuudesta. Tuotantoprosessi vaatii huomattavan määrän korkealaatuisia kvartsikomponentteja, mukaan lukien kiekot, renkaat, levyt, laipat, syövytetyt veneet, diffuusiouunin putket ja puhdistussäiliöt.

Erittäin puhdasta kvartsia käytetään puolijohteiden valmistuksen eri vaiheissa

Sovellus piikiekkojen valmistuksessa

Kvartsilasin ensisijainen käyttökohdepiikiekkojen valmistuson tuotannossakvartsiupokkaat, välttämätön Czochralski-prosessille (CZ), jota käytetään yksikiteisten piiharkkojen kasvattamiseen kiekkojen valmistukseen. Lisäksi käytetään myös kvartsipuhdistusastioita.

Semicorex Sulatettu kvartsiupokas

Sovellus kiekkojen käsittelyssä

Kiekkojen käsittelyn aikana erilaisia ​​hoitoja, kutenhapetus, epitaksi, litografia, etsaus, diffuusio, kemiallinen höyrypinnoitus (CVD), ioni-istutus ja kiillotus suoritetaan piikiekoilla. Erittäin puhdas kvartsilasi on puhtautensa, korkean lämpötilan kestävyyden, alhaisen lämpölaajenemisen ja korroosionkestävyyden vuoksi ratkaisevassa roolissa näissä prosesseissa.

1)Diffuusio ja hapettuminen: Kvartsilasin diffuusioputketNiitä käytetään laajasti näissä prosesseissa yhdessä mukana olevien kvartsilaippojen kanssa. Muita tärkeitä komponentteja ovat mmkvartsiuunin putket(kuljetukseenkvartsiveneetuunissa ja sieltä ulos), kvartsiveneet (piikiekkojen kuljettamiseen) ja kvartsivenetelineet. Näiden joukossakvartsilasi diffuusioputketovat ensiarvoisen tärkeitä, sillä niiden puhtaus, korkeiden lämpötilojen muodonmuutoskestävyys ja tarkka geometria vaikuttavat suoraan IC:n laatuun, kustannuksiin ja tuotantotehokkuuteen.

Kvartsiveneetja telineet toimivat piikiekkojen korvaamattomina kantajina diffuusio-, hapetus-, CVD- ja hehkutusprosessien aikana. Näitä osia on eri eritelmiä ja kokoja, tyypillisesti saatavilla vaaka- ja pystysuunnassa. Suora kosketus piikiekkojen kanssa korkeissa lämpötiloissa edellyttää erittäin puhdasta kvartsilasia, jolla on erinomainen lämpöstabiilisuus ja mittatarkkuus näille komponenteille.

Semicorex-kvartsikomponentit diffuusiouuniin

2)Etsaus ja puhdistus:Syövytysprosessi vaatii korroosionkestäviä kvartsilasimateriaaleja ja -komponentteja, mikä johtaa merkittävään kysyntään kvartsirenkaille, kvartsilasin reaktiokammioille ja kiekkojen kannattimille. Lisäksi happopuhdistusvaiheessa ja ultraäänipuhdistusvaiheessa käytetään kvartsilasikoreja ja puhdistussäiliöitä, mikä hyödyntää materiaalin poikkeuksellista kemiallista stabiilisuutta. Kvartsikellopurkkeja käytetään myös piin epitaksiaalisessa kasvussa.

3)Valokuvalitografia:Erittäin puhdas kvartsilasi toimii ensisijaisena alustamateriaalina valonaamioille, jotka ovat tärkeitä komponentteja fotolitografiaprosessissa. Näiden substraattien hankintakustannukset muodostavat merkittävän 90 % valokuvanaamarien kokonaisraaka-ainekustannuksista, kuten Qingyi Photomaskin esitteen tiedot osoittavat. Erittäin tarkkoina työkaluina piirikuvioiden siirtämiseen LCD-näyttöjen, puolijohteiden ja muiden elektronisten laitteiden valmistuksen aikana, valonaamarit vaikuttavat suoraan lopputuotteen tarkkuuteen ja laatuun. Tämä edellyttää erittäin puhtaiden synteettisten kvartsilasiharkkojen käyttöä valonaamioiden pohjamateriaalina.

Yhteenvetona voidaan todeta, että erittäin puhtaan kvartsin ainutlaatuinen ominaisuuksien yhdistelmä on vahvistanut sen asemaa puolijohdeteollisuudessa korvaamattomana materiaalina. Kun tekniikka kehittyy ja vaatimukset miniatyrisoinnille ja suorituskyvylle kasvavat, riippuvuuden korkealaatuisiin kvartsimateriaaleihin odotetaan vain kasvavan, mikä vahvistaa entisestään sen ratkaisevaa roolia elektroniikan tulevaisuuden muovaamisessa.**

Semicorex on kokenut valmistaja ja toimittaja, joka toimittaa erittäin puhtaita kvartsimateriaaleja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com