Piiharbidikiekkovene

Jokaisen kiekkovalmistuksen korkean lämpötilan prosessin takana on hiljainen, mutta tärkeä pelaaja: kiekkovene. Koska ydinkantaja, joka koskettaa suoraan piikiekosta kiekkojen prosessoinnin aikana, sen materiaali, stabiilisuus ja puhtaus liittyvät suoraan sirun lopulliseen saannoon ja prosessien vakauteen. Eri kantaja -aineiden joukossa,Piharbidi (sic)Veneet korvaavat vähitellen perinteisiä kvartsiratkaisuja, ja niistä tulee edullinen ratkaisu edistyneille prosesseille ja huippuluokan laitteille.

Miksi sic kiekkoveneet?

Kun prosessisolmujen eteneminen on alle 7 nm ja korkean lämpötilan prosessiikkunoiden laajentuminen, perinteiset kvartsikiekkoveneet kamppailevat yhä enemmän lämpöstabiilisuuden, hiukkasten hallinnan ja elinkaaren hallinnan suhteen.

Piharbidikiekkoveneet kuitenkin saavat vähitellen näkyvyyttä seuraavien etujen vuoksi:

1. asteikko korkeissa lämpötiloissa:

Ne tarjoavat pitkäaikaisia ​​käyttölämpötiloja 1350-1600 ° C, käsittelevät helposti valtavirran prosesseja, kuten CVD, diffuusio ja hehkutus. Jopa lyhyt altistuminen 1800 ° C: n lämpötiloille ei osoita pehmenemistä tai muodonmuutoksia, mikä tekee niistä sopivia korkeamman asteen laitteisiin, kuten yksikristallikarbidimurbidimuniin.

2.Millo laajennus ja korkea lämpöhakkin stabiilisuus:

Lämpölaajennuksen alhaisella kertoimella ne kestävät nopean lämpötilan nousun ja laskun, mikä minimoi lämpöjännityksen aiheuttamat rakennekannun. Ne ylläpitävät erinomaista morfologiaa ja suorituskykyä korkean lämpötilan, monimutkaisissa ilmakehissä (kuten vety, typpi, ammoniakki ja fluoridit).

3.Lasen pinta ja erittäin alhainen saastuminen:

Korkea materiaali puhtaus minimaalisilla metallihäiriöillä. Matala pinnan karheus, estäen piikiekkojen sekundaarisen saastumisen; Erinomainen pinnan karheuden hallinta, RA: n ollessa alle 0,1 μm, tukahduttaa hiukkasten leviämisen ja täyttää edistyneiden prosessien puhtaan huoneen vaatimukset;

4. Yksiosainen muovaus, tarkkuusvaikutteiset kiekko-venerakenteet voidaan muodostaa suoraan hometon kautta3D -tulostus, muottien tarpeen poistaminen, mikä parantaa merkittävästi räätälöintitehokkuutta; Yhdistettynä viiden akselin koneistus- ja langanleikkaustekniikkaan veneen hampaat ovat burr-vapaat, estäen kiekkojen naarmuja ja varmistavat sileän automatisoidun käsittelyn;

5. Korkea vahvuus ja pitkä käyttöikä: 

Yhdessä veneessä on korkea kuormituslujuus ja se voi samanaikaisesti tukea kymmeniä satoja 12 tuuman kiekkoja. Verrattuna perinteisiin kvartsiveneisiin veneen keskimääräinen elinikä on 5-10 kertaa pidempi, mikä vähentää laitteiden vaihtotaajuutta ja omistajuuden kokonaiskustannuksia.

Sovellusskenaario

Laaja sopeutumiskykypiiharbide kiekkoveneetlaajentaa niiden käyttöä puolijohdekentän ulkopuolelle moniin korkean lämpötilan prosessiskenaarioihin, mukaan lukien uudet energiamateriaalit, LED-valmistus ja ydinenergiatutkimus.

Puolijohdeteollisuus

Se soveltuu avainprosesseihin, kuten hapettumiseen, diffuusioon, CVD-laskeutumiseen ja ionin implantointiin, mikä tekee siitä välttämättömän korkean lämpötilan kantaja-7NM-prosessin linjojen kohdalla.

Aurinkosähköteollisuus

Kehittyvissä akkutekniikoissa, kuten Topcon ja HJT, kiekkoveneitä käytetään korkean lämpötilan uuniprosesseissa, kuten LPCVD ja hehkutus, mikä auttaa parantamaan energiatehokkuutta ja muuntokursseja.

Kolmannen sukupolven puolijohteet

GAN- ja SIC -epitaksiaalisten kasvuprosessien LEDissä ne tukevat safiiri- tai piikarbidi -substraatteja. Ne kestävät syövyttäviä kaasuja, kuten NH₃ ja HCl, tukevat korkeataajuusvoimalaitteiden valmistusta.

Uudet energiamateriaalit ja tutkimuksen korkean lämpötilan alusta

Tukee litiumakun katodimateriaalien sintrausreaktiota ja ydinteollisuuden materiaalien lämpökäsittelyä yhdistämällä lämmönkestävyyden, korroosionkestävyyden ja puhtauden.

Semicorex tarjoaa voimakkaanräätälöityjä kiekkoveneitä. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com