Puolijohdepäänsä

Sekaasun jakelulevy, jota usein kutsutaan "suihkupääksi", voi muistuttaa tavanomaista suihkupäätä, mutta sen hinta voi saavuttaa satojen tuhansien, mikä on huomattavasti korkeampi kuin tyypillinen kylpyhuonesuihku.

Kaasunjakelulevyn pinnalla on satoja tai jopa tuhansia pieniä, tarkasti järjestettyjä reikiä, jotka muistuttavat hienosti kudottua hermostoa. Tämä malli mahdollistaa kaasuvirtauksen ja injektiokulmien tarkan hallinnan varmistamalla, että kiekkojen prosessointialueen jokainen osa on tasaisesti "kylpyä" prosessikaasussa. Tämä ei vain paranna tuotannon tehokkuutta, vaan myös parantaa tuotteen laatua.

Kaasunjakelulevy on olennainen osa avainprosesseja, kuten puhdistusta, etsausta ja laskeutumista. Se vaikuttaa suoraan puolijohdeprosessien tarkkuuteen ja lopputuotteiden laatuun, mikä tekee siitä kriittisen komponentin erilaisissa kaasun jakelusovelluksissa.

Kiekko -reaktioprosessin aikanasuihkupääon tiheästi peitetty mikrohuoveilla (aukko 0,2-6 mm). Tarkkaan suunnitellun kanavarakenteen ja kaasupolun kautta erityisprosessin kaasun on läpäistävä tuhansien pienten reikien läpi yhtenäisellä kaasulevyllä ja sitten talletetaan tasaisesti kiekkojen pinnalle. Kalvon eri alueilla olevan kalvokerroksen on varmistettava korkea yhtenäisyys ja johdonmukaisuus. Siksi erittäin suurten puhtauden ja korroosionkestävyyden vaatimusten lisäksi kaasun jakautumislevyllä on tiukat vaatimukset kaasun jakautumislevyn pienten reikien aukon ja pienten reikien sisäseinämän aukon koostumukseen. Jos aukon kokotoleranssi ja konsistenssien standardipoikkeama ovat liian suuria tai missä tahansa sisäseinässä on haaroja, kerrostuneen kalvokerroksen paksuus on erilainen, mikä vaikuttaa suoraan laitteen prosessin satoon.

Kaasun jakautumislevyn materiaali on joskus hauras materiaali (kuten yksikristallipii, kvartsilasi, keramiikka), joka on helppo murtaa ulkoisen voiman vaikutuksen alla. Se on myös erittäin syvä reikä 50-kertaisesti mikroporeen halkaisijalla, eikä leikkaustilannetta voida suoraan havaita. Lisäksi leikkauslämpöä ei ole helppo lähettää ja sirun poisto on vaikeaa, ja porausbitti on helposti rikki sirun tukkeutumisen vuoksi. Siksi sen käsittely ja valmistelu on erittäin vaikeaa.

Lisäksi plasma-avusteisissa prosesseissa (kuten PECVD ja kuiva etsaus) suihkupään, osana elektrodia, on myös tuotettava yhtenäinen sähkökenttä RF-virtalähteen kautta plasman tasaisen jakautumisen edistämiseksi, mikä parantaa siten etsauksen tai kerrostumisen tasaisuutta.

Koska puolijohteiden valmistusprosessissa käytetyt kaasut voivat olla korkea lämpötila, korkea paine tai syövyttäminen, suihkupää on yleensä valmistettu korroosioiden kestävistä materiaaleista. Todellisessa tuotannossa erilaisten käyttöskenaarioiden ja todellisen vaaditun tarkkuuden vuoksi kaasun jakelulevy voidaan jakaa seuraaviin kahteen luokkaan sen materiaalikoostumuksen mukaan:

(1) metallikaasun jakautumislevy

Metallikaasujen jakautumislevyjen materiaaleja ovat alumiiniseos, ruostumaton teräs ja nikkelimetalli, joista yleisimmin käytetty metallikaasun jakautumislevymateriaali on alumiiniseos, koska sillä on hyvä lämmönjohtavuus ja voimakas korroosionkestävyys. Se on laajalti saatavana ja helppo käsitellä.

(2) Ei-metallinen kaasun jakautumislevy

Ei-metallisien kaasun jakautumislevyjen materiaaleja ovat yksikristallipii, kvartsilasi ja keraamiset materiaalit. Niiden joukossa yleisesti käytetyt keraamiset materiaalit ovat CVD-SIC, alumiinioksidikeramiikka, piinitridikeramiikka jne.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaCvd sic -suihkupäätpuolijohdeteollisuudessa. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com