TAC -päällystetty upokas sic -kidekasvulla

Viime vuosina,TAC -päällystettyUpokasta on tullut tärkeä tekninen ratkaisu reaktioastina piikarbidikiteiden kasvuprosessissa. TAC -materiaaleista on tullut avainmateriaaleja piikarbidikiteiden kasvun alalla niiden erinomaisen kemiallisen korroosionkestävyyden ja korkean lämpötilan stabiilisuuden vuoksi. Verrattuna perinteisiin grafiittimoppilaitoksiin, TAC -päällystetyt upokkaat tarjoavat vakaamman kasvuympäristön, vähentävät grafiittikorroosion vaikutusta, pidentävät upokkaan käyttöiän käyttöä ja välttää tehokkaasti hiilen kääreiden ilmiö, vähentäen siten mikrotutkien tiheyttä.

 Kuva 1 sic -kidekasvu

TAC-päällystettyjen upotusten edut ja kokeellinen analyysi

Tässä tutkimuksessa vertasimme piikarbidikiteiden kasvua käyttämällä perinteisiä grafiittimoppilaita ja grafiittimoppilaita, jotka on päällystetty TAC: lla. Tulokset osoittivat, että TAC-päällystetyt upokkaat parantavat merkittävästi kiteiden laatua.

Kuva 2 OM -kuva SIC: stä, joka on kasvatettu PVT -menetelmällä

Kuvio 2 kuvaa, että perinteisissä grafiittimoppilaitoksissa kasvatetut piikarbidikiteitä on kovera rajapinta, kun taas TAC-päällystetyissä upokkaissa kasvatetut ovat kupera rajapinta. Lisäksi, kuten kuviosta 3 nähdään, reuna-monikiteinen ilmiö äänestetään kiteillä, jotka on kasvatettu perinteisillä grafiittimoppilaitoksilla, kun taas TAC-päällystettyjen upokkaiden käyttö vähentää tätä ongelmaa tehokkaasti.

Analyysi osoittaa, ettäTAC -päällystenostaa lämpötilaa upokkaan reunalla, vähentäen siten kiteiden kasvua kyseisellä alueella. Lisäksi TAC -päällyste estää suoran kosketuksen grafiittipuolen seinämän ja kideen välillä, mikä auttaa vähentämään ytimenmuodostusta. Nämä tekijät vähentävät kollektiivisesti monikiteisyyden todennäköisyyttä, joka esiintyy kiteen reunoilla.

Kuva 3 OM -kuvat kiekkoista eri kasvuvaiheissa

Lisäksi silikonikarbidikiteitäTAC-päällystettyUpokkaat osoittautuivat melkein mitään hiilen kapselointia, mikä on yleinen syy mikropuvien vikoihin. Seurauksena on, että nämä kiteet osoittavat merkittävän pienenemisen mikropilaa vikatiheydessä. Kuviossa 4 esitetyt korroosiotestitulokset vahvistavat, että TAC-päällystetyissä upokkaissa kasvatetuilla kiteillä ei käytännössä ole mikroparikokoisia.

Kuva 4 OM -kuva Koh -etsauksen jälkeen

Kristallin laadun ja epäpuhtauksien hallinnan parantaminen

Kiteiden GDMS: n ja Hall -testien kautta tutkimuksessa havaittiin, että kiteen TA -pitoisuus kasvoi hieman, kun käytettiin TAC -päällystettyjä upotuksia, mutta TAC -päällystys rajoitti merkittävästi typpeä (N) sedoista kiteitä. Yhteenvetona voidaan todeta, että TAC -päällystetyt upokkaat voivat kasvattaa piikkikarbidikiteitä, joilla on korkeampi laatu, etenkin viantiheyden (erityisesti mikrotutkien ja hiilen kapselointi) vähentämisessä ja typen seostuspitoisuuden hallinnassa.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaTAC-päällystetty grafiittipotkusic -kidekasvulle. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com