Kuinka edistyneet materiaalit ratkaisevat 3 kriittistä haastetta puolijohdeuunin suunnittelussa

Kilpailu transistorikokojen kutistumiseksi ja aurinkokennojen tehokkuuden mittakaavalle työntää lämpökäsittelylaitteet rajoihinsa. Semicorexissa olemme viettäneet kaksi vuosikymmentä yhteistyössä johtavan puolijohteen ja PV -valmistajien kanssa toistuvan kipupisteen torjumiseksi: Kun vakiomateriaalit epäonnistuvat äärimmäisissä olosuhteissa, kokonaiset tuotantoerät voivat vaarantua.

CVD -pinnoitteet: Prosessikomponenttien panssari

Kemiallisen höyryn laskeutumispinnoitteet (CVD), kuten piiharbidi (sic) ja tantaalikarbidi (TAC), mullistavat komponenttien pitkäikäisyyden ankarissa ympäristöissä:

Sic -pinnoiteEdut:

Kestää lämpötiloja 1 650 ° C: ssa inertissä ilmakehissä

Vähentää hiukkasten saastumista epitaksiaalisen kasvun reaktoreissa

Pidentää grafiittiherkkijöiden käyttöikää 3-5x: llä

TAC -päällystediffuusioesteissä:

Estää sulaa piin tunkeutumista upokkaisiin (99,999% puhtauspistointi)

Minimoi kiekkojen loimi nopean lämpökäsittelyn aikana (RTP)

Kun lämpötilat ylittävät 1600 ° C: CVD -pinnoitusetu

Tämä ei ole taikuutta - se on materiaalitiede. Omistettu CVD-prosessimme kerrostuu sekä sic- että tac-pinnoitteisiin atomitasolla tarkkuudella luomalla pintoja, jotka:

Vastaa piin höyryn korroosiota 3x pidempään kuin tavalliset pinnoitteet

Pidä <0,5 um paksuusvaihtelu kompleksien geometrioiden välillä

Poista pinnoitus delaminaatio jopa lämpöpyöräilyn alla

Hiljainen kriisi lämmön yhtenäisyydessä

Kristallikasvun uuneissa epäjohdonmukainen lämpötilan jakautuminen voi muuttaa 250 000 dollarin piidisarkon romuksi. Materiaalien innovaatioiden, kuten:

Tiheysluokiteltu grafiittia (0,18-0,25 g/cm³ gradientisuunnittelu)

Hiilihiilinen komposiittisyöttö, jolla on <2% lämmön laajennusanisotropia

... olemme auttaneet asiakkaita saavuttamaan:

✔️ ± 1,5 ° C aksiaalisen lämpötilan tasaisuus 300 mm Czochralski -järjestelmissä

✔️ 40% nopeammat jäähdytysnopeudet ilman harkkien halkeamista

Miksi kvartsin puhtaus on tärkeämpi kuin koskaan

Kun Tier-1 MEMS -valimo jäljitti hiukkasvirheet heidän etsauskammion vuoristoihin, kuplattomasti sulatettu kvartsiliuos:

Vähentynyt metallikontaminaatio 89% (ICP-MS-analyysi)

Pidennetyt ennaltaehkäisevät huoltovälit 3 - 8 kuukautta

Saavutettu 99,999%: n alkuperäinen puhtaus <0,1ppb -alkali -metallipitoisuudella

Eritelmien lisäksi: sovellustekniikan asiat

Vaikka tekniset tiedot tarjoavat lähtötason vertailuja, reaalimaailman suorituskyky riippuu:

• Materiaaliprosessin kytkentä - kuinka komponentit ovat vuorovaikutuksessa tiettyjen kemian kanssa (esim. Cl₂ vs. SF₆ Plasmat)

• Vikatilan kirjastot - 1 200+ -komponentin vikatapausten tietokantamme ilmoittaa materiaalin valinnasta

• Mukautettu luokittelu - grafiittien huokoisuuden/johtavuuden säätäminen osan poikkileikkauksiin

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaTantaalikarbidipäällysteinenjaPiikarbidipäällysteinenMukautetut osat. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com