TAC -pinnoitteen edut SIC: n yksittäisessä kiteessä

Tällä hetkellä piikarbidi hallitsee puolijohteiden kolmannen sukupolven. Piharbidilaitteiden kustannusrakenteessa substraattien osuus on 47%ja epitaksin osuus on 23%. Yhdessä nämä kaksi komponenttia edustavat noin 70% valmistuskustannuksista, mikä tekee niistä tärkeitä piikarbidilaitteen tuotantoketjussa. Näin ollen piikarbidi -yksittäisten kiteiden satoprosentin parantaminen - ja siten vähentämällä substraattien kustannuksia - on tullut yksi kriittisimmistä haasteista sic -laitteen tuotannossa.

Korkealaatuisen, korkean tuoton valmistamiseksipiiharbidi -substraatit, tarvitaan parempia lämpökenttämateriaaleja tuotantolämpötilojen tarkasti. Lämpökentän upokaspakkaus, joka on tällä hetkellä käytössä, koostuu pääasiassa korkean puhtaan grafiittimuodosta, jota käytetään sulan hiili- ja piitauheiden lämmittämiseen säilyttäen samalla lämpötilan. Vaikka grafiittimateriaaleilla on suuri spesifinen lujuus ja moduuli, erinomainen lämmönkestävyys ja hyvä korroosionkestävyys, niillä on myös huomattavia haittoja: ne ovat alttiita hapettumiselle korkean lämpötilan happiympäristöissä, ei kestä ammoniakkia hyvin ja niillä on huono naarmuresistenssi. Nämä rajoitukset estävät piikarbidikiteiden kasvua ja piikarbidien epitaksiaalikiekkojen tuotantoa, rajoittaen grafiittimateriaalien kehitys- ja käytännöllisiä sovelluksia. Seurauksena on, että korkean lämpötilan pinnoitteet, kuten tantalikarbidi, ovat saamassa pitoa.

Tantalumkarbidilla päällystetyn komponentin edut

HyödyntäminenTantaalikarbidi (TAC) pinnoitteetpystyy käsittelemään kristallireunan vikoihin liittyviä kysymyksiä ja parantaa kidekasvun laatua. Tämä lähestymistapa on linjassa "kasvavan nopeamman, paksumman ja pidemmän" ydinteknisen tavoitteen kanssa. Teollisuustutkimus osoittaa, että tantaalikarbidilla päällystetyt grafiittimurhat voivat saavuttaa yhtenäisemmän lämmityksen, tarjoamalla erinomaisen prosessin hallinnan SIC: n yhden kidekasvun kannalta ja vähentää merkittävästi monikiteisen muodostumisen todennäköisyyttä sic -kiteiden reunoilla. Lisäksi,TantaalikarbidipinnoiteTarjoaa kaksi suurta etua:

1. SIC -vikojen vähentäminen

SIC -yksittäisissä kiteissä on tyypillisesti kolme avainstrategiaa. Kasvuparametrien optimoinnin ja korkealaatuisten lähdemateriaalien (kuten SIC-lähdejauheen) avulla siirtyminen tantaalikarbidilla päällystetyille grafiittiurnausmiehille voi myös edistää parempaa kiteistä laatua.

2. Grafiittiurnauksen elämän parantaminen

SiC -kiteiden kustannukset ovat pysyneet korkeana; Grafiittien tarvikkeiden osuus on noin 30% näistä kustannuksista. Grafiittikomponenttien käyttöikä on kriittinen kustannusten vähentämiselle. Ison-Britannian tutkimusryhmän tiedot viittaavat siihen, että tantaalikarbidipinnoitteet voivat pidentää grafiittikomponenttien käyttöiän 30-50%. Näiden tietojen perusteella yksinkertaisesti perinteisen grafiitin korvaaminen tantaalikarbidilla päällystetyllä grafiittia voi vähentää sic-kiteiden kustannuksia 9%-15%.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaTantaalikarbidipäällysteinenUpokkaat, herkät ja muut räätälöidyt osat. Jos sinulla on tiedusteluja tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

Yhteyshenkilö # +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com