Vaakasuuntaiset kvartsikiekkoveneet

Vaakasuuntaiset kvartsikiekotpuolijohdekiekkoja pidetään yleisesti vaakasuorassa lämpökäsittelylaitteiden uuniputkissa, joita lämmitetään ulkoisilla lämmityslaitteilla. Niitä käytetään laajalti vaativissa korkean lämpötilan syövyttävien puolijohteiden lämpökäsittelyprosesseissa, kuten lämpöhapetus, korkean lämpötilan diffuusio, hehkutus ja kemiallinen höyrypinnoitus (CVD).

Semicorex vaakakvartsikiekkoveneen toiminnot

1. Vakaa pito ja kiinnitys

Semicorex-vaakakvartsikiekkoveneillä on erinomainen kantokyky ja ne voivat jatkuvasti tarjota vakaata tukea useille puolijohdekiekkoille. Ja niiden optimoitu ulkoinen muotoilu ja tarkka paikkarakenne takaavat jokaisenvohvelion täydellisesti asennettu ja tukevasti kiinni vaakasuuntaisissa kvartsikiekkoveneissä, mikä vähentää merkittävästi kiekkojen naarmuja ja törmäyksiä, jotka aiheutuvat tärinästä, siirtymisestä ja kallistuksesta kuljetuksen ja valmistusprosessin aikana.

2. Prosessin yhdenmukaisuuden apu

Vaakasuuntaisten kvartsikiekkojen tasaväleinen rakorakenne mahdollistaa puolijohdekiekkojen säännöllisen sijoittamisen, mikä luo vakaan ja tasaisen kaasuvirtauskentän korkean lämpötilan uuneihin. Rakennesuunnittelussa saavutetaan tasainen kaasukosketus ja reaktionopeus kullakin kiekon pinnalla, mikä vähentää tehokkaasti erilaisia ​​epätasaisesta kuumenemisesta ja differentiaalisesta kaasukontaktista aiheutuvia vikoja, kuten kiekkojen epätäydellistä hapettumista, epätasaista ohutkalvokerrostumista ja dopingpitoisuuden poikkeamaa.

3. Pitkä käyttöikä

Kvartsimateriaalin erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ansiosta Semicorex-vaakakvartsikiekkoveneet kestävät korkeita 1100-1200 ℃ lämpötiloja pitkään ilman muodonmuutoksia tai sulamista.Kvartsion kemiallisesti inertti puolijohdeprosesseissa yleisesti käytettyjen kaasujen, kuten hapen, typen ja kloorivedyn, suhteen. Tämä poikkeuksellinen kemiallinen inertiteetti voi minimoida prosessikaasujen aiheuttaman korroosioriskin, pidentää huomattavasti käyttöikää ja vähentää laitteiden vaihtoaikaa ja kustannuksia.