Pystysuorat kvartsikiekkoveneet

Puolijohteiden valmistusprosesseissa reaktiokammion puolijohdekomponenttien on täytettävä tiukat korkeat puhtausstandardit. Muutoin jopa mikro- tai nanomittakaavaiset epäpuhtaudet tai epäpuhtaudet voivat aiheuttaa peruuttamattomia vahinkoja puolijohdelaitteiden suorituskyvylle ja teholle.

Kvartsikiekkoveneitäasennetaan yleensä pystysuoraan korkean lämpötilan reaktiokammioihin, kuten diffuusiouuneihin, hapetusuuneihin ja hehkutusuuneihin, joissa niiden on oltava suorassa kosketuksessa kiekkojen kanssa. Semicorexin pystysuorat kvartsikiekot valmistetaan erittäin puhtaista kvartsimateriaaleista näiden korkean puhtausvaatimusten täyttämiseksi. Tämä viisas materiaalivalinta estää tehokkaasti kiekkojen kontaminaatiota, joka johtuu kiekkoveneistä valmistusprosessin aikana vapautuvista reaktanteista.

Puolijohteiden valmistuksessa kiekkoveneiltä vaaditaan toistuvien lämmitys-jäähdytysjaksojen lisäksi myös prosessikaasujen pitkäkestoinen korroosio. Semicorexin pystykvartsivohveliveneet osoittavat poikkeuksellista mittapysyvyyttä jatkuvan lämpökierron haastavissa käyttöolosuhteissa niiden luontaisen lämpöstabiilisuuden vuoksi. Nämä erinomaiset lämpöominaisuudet estävät merkittävästi kiekkojen muodonmuutoksia ja vaurioita, jotka aiheutuvat pystysuorassa kvartsikiekkoveneessä tapahtuvasta tarkkuusvauriosta tai rakenteellisesta muodonmuutoksesta. Lisäksi korkean kemiallisen inertiteettinsä ansiosta pystysuorat kvartsikiekot kestävät reaktiota syövyttävien kaasujen, kuten hapen, vesihöyryn, kloorivedyn ja ammoniakin, kanssa. Tämä ominaisuus vähentää huomattavasti todennäköisyyttä, että kemiallinen korroosio vaarantaa pystysuorien kvartsikiekkoveneiden rakenteellisen eheyden.

Edellä mainittujen suorituskykyetujen lisäksi Semicorexin pystysuorat kvartsikiekot osoittavat erinomaista kilpailukykyä myös mittatarkkuudessa ja rakennesuunnittelussa. Niiden jokainen osa on valmistettu tarkkuustyöstötekniikoilla. Tämä tarkka mittojen hallinta varmistaa kiekkojen tarkan sijoittelun minimoiden siirtymisen tai törmäysten aiheuttamat naarmut ja halkeamat lataamisen, käsittelyn ja purkamisen aikana.