ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck käyttää sähköstaattisia voimia säilyttääkseen tarkan hallinnan kiekon sijainnista, mikä varmistaa korkean tarkkuuden ja toistettavuuden puolijohteiden valmistusympäristöissä. ESC-istukan muotoilu yhdistettynä sen vahvaan materiaalivalikoimaan ja mukautettavissa oleviin mittoihin tekevät siitä monipuolisen ja välttämättömän työkalun prosesseissa, kuten etsauksessa, pinnoituksessa ja ioni-implantaatiossa.

ESC-istukka toimii kohdistamalla korkeajännitteisen sähköstaattisen kentän istukan elektrodien ja kiekon väliin luoden vetovoiman, joka pitää kiekon paikallaan. Tyypillisesti piistä tai piikarbidista valmistettu kiekko on kiinnitetty tällä voimalla, mikä mahdollistaa tarkat toiminnot suurissa tyhjiöissä. Tämä järjestelmä eliminoi mekaanisen puristuksen tai tyhjiöistutuksen tarpeen, mikä voi aiheuttaa epäpuhtauksia tai vääristää kiekon. ESC-istukkaa käyttämällä valmistajat voivat saavuttaa puhtaamman ja vakaamman ympäristön herkille valmistusprosesseille, mikä johtaa korkeampiin saantoihin ja tasaisempaan lopputulokseen.

Yksi ESC-tekniikan tärkeimmistä eduista on sen kyky säilyttää tiukka ote kiekosta ja jakaa voima tasaisesti sen pinnalle. Tämä varmistaa, että kiekko pysyy tasaisena ja vakaana, mikä on ratkaisevan tärkeää tasaisen syövytyksen tai saostuksen saavuttamiseksi, erityisesti prosesseissa, joissa vaaditaan submikronista tarkkuutta. ESC-istukan räätälöitävissä olevat mitat mahdollistavat erikokoisten kiekkojen asennuksen 200 mm:n ja 300 mm:n vakiokiekoista erikoiskokoihin, joita käytetään tutkimuksessa ja kehityksessä tai niche-puolijohdelaitteiden valmistuksessa.

ESC-istukan valmistuksessa käytetyt materiaalit on valittu huolellisesti, jotta varmistetaan yhteensopivuus puolijohdekäsittelyssä tyypillisesti esiintyvien ankarien ympäristöjen kanssa. Erittäin puhdasta keraamista alumiinioksidia käytetään niiden erinomaisten sähköeristysominaisuuksien, lämpöstabiilisuuden ja plasmakorroosionkestävyyden vuoksi. Nämä ominaisuudet mahdollistavat istukan tehokkaan toiminnan sekä korkeissa lämpötiloissa että suurissa tyhjiöolosuhteissa, mikä takaa kestävyyden ja luotettavuuden, joita tarvitaan pitkäaikaisessa käytössä puhdastilaympäristössä.

Räätälöinti on toinen ESC-istukkaiden merkittävä etu. Puolijohteiden valmistusprosessin erityisvaatimuksista riippuen istukan mitat, elektrodikonfiguraatiot ja materiaalikoostumukset voidaan räätälöidä vastaamaan prosessoitavien laitteiden ja kiekkojen ainutlaatuisia tarpeita. Olipa kyseessä plasmaetsaus, kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) tai fyysinen höyrypinnoitus (PVD), ESC-istukka voidaan suunnitella optimoimaan suorituskykyä ja ylläpitämään kiekon eheyttä käsittelyn aikana.