CVD-kemialliset höyrypinnoitusuunit

Semicorex CVD Chemical Vapor Deposition -uuneja, jotka on suunniteltu CVD:lle ja CVI:lle, käytetään materiaalien kerrostamiseen alustalle. Reaktiolämpötilat jopa 2200 °C. Massavirtauksen säätimet ja modulointiventtiilit koordinoivat lähtö- ja kantajakaasuja, kuten N, H, Ar, CO2, metaani, piitetrakloridi, metyylitrikloorisilaani ja ammoniakki. Saostettuja materiaaleja ovat piikarbidi, pyrolyyttinen hiili, boorinitridi, sinkkiselenidi ja sinkkisulfidi. CVD Chemical Vapor Deposition -uuneissa on sekä vaaka- että pystysuuntaiset rakenteet.

Sovellus:SiC-pinnoite C/C-komposiittimateriaalille, SiC-pinnoite grafiitille, SiC-, BN- ja ZrC-pinnoite kuidulle jne.

Semicorex CVD Chemical Vapor Deposition -uunien ominaisuudet

1. Vankka rakenne, joka on valmistettu korkealaatuisista materiaaleista pitkäaikaiseen käyttöön;

2.Tarkasti ohjattu kaasunsyöttö massavirtauksen säätimien ja korkealaatuisten venttiilien avulla;

3. Varustettu turvaominaisuuksilla, kuten ylikuumenemissuoja ja kaasuvuodon havaitseminen turvallisen ja luotettavan toiminnan takaamiseksi;

4. Useiden lämpötilan säätövyöhykkeiden käyttö, suuri lämpötilan tasaisuus;

5. Erityisesti suunniteltu saostuskammio, jolla on hyvä tiivistysvaikutus ja erinomainen kontaminaatiokyky;

6. Useiden pinnoituskanavien käyttäminen tasaisella kaasuvirtauksella, ilman kuolleita kulmia ja täydellistä pinnoituspintaa;

7. Se käsittelee tervaa, kiinteää pölyä ja orgaanisia kaasuja pinnoitusprosessin aikana

*Yllä olevat parametrit voidaan säätää prosessivaatimusten mukaan, ne eivät ole hyväksymisstandardin mukaisia, yksityiskohtaspesifikaatioita. ilmoitetaan teknisessä ehdotuksessa ja sopimuksissa.