CVD ja CVI tyhjiöuuni

Semicorex CVD ja CVI Vacuum Furnace on korkealaatuinen työkalu, joka on suunniteltu kemiallisiin höyrypinnoitusprosesseihin (CVD). Reaktiolämpötilat jopa 2200 °C. Se pystyy kerrostamaan monenlaisia ​​materiaaleja, mukaan lukien piikarbidi, boorinitridi, grafeeni ja paljon muuta. CVD-uunissa on vankka rakenne ja se on valmistettu korkealaatuisista materiaaleista, mikä takaa luotettavuuden ja kestävyyden pitkäaikaiseen käyttöön. Siinä on sekä vaaka- että pystysuuntaisia ​​rakenteita.

Sovellus:C/C-komposiittijarrulevy, upokas, muotti jne.

Semicorex CVD ja CVI Vacuum Furnacen ominaisuudet

1. Vankka rakenne, joka on valmistettu korkealaatuisista materiaaleista pitkäaikaiseen käyttöön;

2.Tarkasti ohjattu kaasunsyöttö massavirtauksen säätimien ja korkealaatuisten venttiilien avulla;

3. Varustettu turvaominaisuuksilla, kuten ylikuumenemissuoja ja kaasuvuodon havaitseminen turvallisen ja luotettavan toiminnan takaamiseksi;

4. Useiden lämpötilan säätövyöhykkeiden käyttö, suuri lämpötilan tasaisuus;

5.Erityisesti suunniteltu saostuskammio, jolla on hyvä tiivistysteho ja erinomainen kontaminaatiokyky;

6. Useiden pinnoituskanavien käyttäminen tasaisella kaasuvirtauksella, ilman kuolleita kulmia ja täydellistä pinnoituspintaa;

7. Se käsittelee tervaa, kiinteää pölyä ja orgaanisia kaasuja pinnoitusprosessin aikana

Valinnaiset ominaisuudet:

•Uunin ovi: ruuvi/hydraulinen/manuaalinen kohotustyyppi; kääntöaukko/rinnakkaisaukko (suuri koko

uunin ovi); manuaalinen tiukka / automaattinen lukkorengas tiukka

• Uunin astia: kaikki hiiliteräs/sisäkerros ruostumaton teräs/kaikki ruostumaton teräs

•Uunin kuuma vyöhyke: pehmeä hiilihuopa/pehmeä grafiittihuopa/jäykkä komposiittihuopa/CFC

•Lämmityselementti ja muhveli: isostaattinen puristusgrafiitti/korkea puhtaus, lujuus ja tiheys grafiitti/hienokokoinen grafiitti

• Prosessikaasujärjestelmä: tilavuus/massavirtausmittari

• Lämpöpari: K-tyyppi/N-tyyppi/C-tyyppi/S-tyyppi

*Yllä olevat parametrit voidaan säätää prosessivaatimusten mukaan, ne eivät ole hyväksymisstandardin mukaisia, yksityiskohtaspesifikaatioita. ilmoitetaan teknisessä ehdotuksessa ja sopimuksissa.