Sic -kansi

Semicorex SiC -kansi on elintärkeä osa, joka on suunniteltu erityisesti puolijohteiden käsittelyyn. Se on suunniteltu epitaksian, ionin implantoinnin ja korkean lämpötilan sovellusten kovimpiin ympäristöihin. Se on valmistettu erittäin puhtaasta piidarbidista, jolla on erittäin stabiilit materiaalien ominaisuudet ja suunniteltu tarkkuus. Pitkäaikainen johdonmukaisuus, kestävyys ja puhtaus ovat tärkeimmät syyt Semicorex SIC-kannen valitsemiseen käytettäväksi edistyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa.

Piharbidi (sic)Sillä on valikoima ominaisuuksia, jotka ovat ainutlaatuisia verrattuna perinteisiin keramiikkaan tai metallimateriaaleihin. Yksi SIC: n tärkeimmistä eduista on sen vastustuskyky korkeille lämpötiloille. SiC voi ylläpitää rakenteellista eheyttä ja mekaanista vakautta - pitkiä ajanjaksoja jopa kohonneissa lämpötiloissa. Tämä tekee SIC: stä ihanteellisen prosesseille, kuten kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD) epitaksille tai korkeaenerginen ionin implantointi. Metallit ja muovit muodostuisivat, hapettaisivat tai saastuttaisivat äärimmäisissä lämpötiloissa, kun taas sic säilyttää ulottuvuuden stabiilisuutensa eikä ole positiivisesti vuorovaikutuksessa käsiteltyjen kiekkojen kanssa.

Kemiallinen resistenssi on toinen SIC -kansien erottava piirre. Puolijohteessa prosessoimalla ympäristöjä, joita saatat kohdata syövyttävien kaasujen, plasman tai reaktiivisten kemikaalien kanssa, ei ole harvinaista. Näissä skenaarioissa sic -pinta tarjoaa inertin esteen vastustaa näitä epäpuhtauksia hajottamasta pintaa ajan myötä, mikä johtaa pidempään tehokkaaseen käyttöikään. Tämä pitkäikäisyys merkitsee alennettuja huoltokustannuksia, vähentyneitä laitteiden alkamisaikaa ja toistettavuutta pidennettyjen prosessisyklien välillä. Nämä tekijät tekevät SIC -kannen paremman vaihtoehdon FABS: lle, joka vaatii jatkuvaa, korkeaa tuotantoa perinteisiin materiaaleihin verrattuna.

Aivan kuten kemiallinen vastus, puhtaus on myös ensiarvoisen tärkeää puolijohdesovelluksessa. Jäljellä olevien epäpuhtauksien läsnäololla voi olla negatiivinen vaikutus laitteen suorituskykyyn ja satoon. SIC -kansi on valmistettu korkean puhtauden piikarbidimateriaalista, joka sulkee pois prosessiympäristöön virtaavien metallisten epäpuhtauksien mahdollisuuden. Lisäksi sen on taataan mahdollisimman puhdas ja vakaa, koska se liittyy epäpuhtauksiin ja kannen suorituskykyyn vaikuttaviin ulkopuolisiin voimiin, mikä on kriittistä nykypäivän puolijohteiden valmistusvaatimusten täyttämisessä, jossa nanometrin tason kohteet on määritettävä ulottumattomalla tarkkuudella ja epäpuhtauksien hallinnalla. SIC -kannen tarjoama joustavuus on lisäarvoa. Jokainen komponentti voidaan suunnitella tietyn asiakkaan tarpeita varten koon, geometrian ja pintapinnan suhteen. Tämä varmistaa, että kansi voidaan helposti sisällyttää ja integroida erilaisiin laitemalleihin ja prosessityökaluihin.

Koneistuksen tarkkuusSicKansi parantaa edelleen sic -kansien arvoa. Puolijohdetyökalut vaativat korkeimman mekaanisen tarkkuuden, joka johtuu mittasuhteiden yhteensopivuuden ja pinnan tasaisuuden suurista vaihteluista, jopa vähäiset yhdenmukaisuuden ja materiaalin paksuuden varianssit voivat vakavasti vaarantaa työkalun prosessin konsistenssit, läpimenon ja tuotteen laadun. SIC -kansien edistyneiden tekniikoiden kautta materiaalien käsittelyssä on tasaisuus, pinnan tasaisuus ja toleranssit, jotka ylittävät tavanomaiset teollisuusstandardit, jotka tarjoavat mekaanisen tiivistyksen pinnan paksuuden, tyypillisesti tuhansia tuhansia tuumaa (TIR). Korkea tasoitus mahdollistaa mekaanisen istuvuuden sulkemisen sekä laboratorioluokan rajojen varmuuden tuotantoprosessin olosuhteiden kokemukselle voidaan toistaa. Tämä näkyy erityisesti suurissa volyymissa, joissa korostus olosuhteiden toistettavuuteen on ratkaisevan tärkeää puolijohteiden laitteiden suorituskyvyn kannalta. Kun jatkat tarkkuustekniikkaa, se puhuu suoraan optimoinnin tuottamiseksi. Kun sic -kannet ovat tyypillisessä käytännöllisessä käytössä, esimerkiksi epitaksissa, jossa SIC -kansi istuu lämpö- ja kemiallisesti ja kemiallisesti stabiilissa saadakseen reaktorissa tai ionin implantaatiojärjestelmässä vastustamaan energisiä hiukkasia, jotka on poistettu korkean voimakkuuden palkkioista, jotka lyövät kannetta, niiden mekaanisia kokoonpanoja ja kiinteistöjä, jotka toimivat. Miksi sic-kannet on tarkoitus olla synonyymi kiinteän tilan puolijohdetuotannossa.

Semicorex SiC -kansi edustaa sekä materiaalitieteen että materiaalitekniikan parasta, ja se tarjoaa parasta mahdollisen suorituskyvyn puolijohdeympäristössä niiden korkean lämpötilan toleranssien, kemiallisen resistenssin, ihanteellisen puhtauden, räätälöityjen valmistusten, tarkan koneistustyön joukossa.