Keraamiset tarkennusrenkaat puolijohteisiin

Semicorex keramiikkatarkennusrengass puolijohteisiin ovat ihanteellisia ratkaisuja, jotka on räätälöity ankariin plasmaetsauskäyttöolosuhteisiin. Kehittyneen puolijohteiden etsausprosessin aikana on ratkaisevan tärkeää valvoa tarkasti plasman jakautumista, mikä voi varmistaa etsauskammion vakauden ja tasaisen puolijohteen etsauksen. Kehittyneiden etsauslaitteiden välttämättöminä komponentteina tarkennusrenkaat sijoitetaan tyypillisesti puolijohdekiekkojen ympärille ja ovat suorassa kosketuksessa niiden kanssa. Tarkennusrenkaiden suorituskyky vaikuttaa suoraan prosessin toistettavuuteen, tuotteen saantoon ja laitteiden käyttöaikaan.

Semicorex keraamisten fokusrenkaiden edut puolijohteisiin

1. Erittäin korkea materiaalin puhtaus

Meidän puhtausCVD SiCmateriaali ylittää 99,9995%. Tämä voi tehokkaasti estää etsauskammion ja puolijohdekiekkojen kontaminoitumisen, joka johtuu riittämättömästä materiaalin puhtaudesta.

2. Poikkeuksellinen korroosionkestävyys

Semicorex-keraamiset puolijohteiden fokusrenkaat on valmistettu CVD SiC:stä, jolla on erinomainen hapettumisen, eroosion ja kemiallisen korroosionkestävyys, ja ne ovat erityisen tehokkaita prosessikaasuja, kuten HF ja HCI, sekä plasmakaasuja vastaan.

3. Ylivoimainen vastustuskyky

Semicorex-keraamisten puolijohteiden tarkennusrenkaiden resistanssitasaisuus on alle 5 %.

Resistiivisyysalueet: Low Res. (<0,02 Ω·cm), Keskires. (0,2–25 Ω·cm), korkea resoluutio (> 100 Ω·cm).

Semicorex keraamisten fokusrenkaiden toiminnot puolijohteisiin

1. Ohjaa ja yhdenmukaista reunan sähkökenttä ja plasman jakautuminen

Semicorex-keraamiset puolijohteiden tarkennusrenkaat voivat ohjata sähkökentän jakautumista etsauskammion sisällä ja saavuttaa tasaisemman plasmavaipan puolijohdekiekkojen ympärille, mikä mahdollistaa plasman törmäyksen kiekon pintaan pystysuorasti ja tasaisesti. Tällä tavalla etsausreunavaikutusta voidaan vähentää huomattavasti ja etsauksen tarkkuutta voidaan parantaa merkittävästi.

2.Suojaa sähköstaattinen istukka

Ilman tarkennusrenkaiden suojaa etsausprosessissa sähköstaattinen istukka altistuu korkeaenergisen plasman pommitukselle ja eroosiolle. Sähköstaattiset istukat on valmistettu kalliista materiaaleista, joiden vaihtokustannukset ovat erittäin korkeat. Tarkennusrenkaiden käyttäminen voi tehokkaasti vähentää plasmakorroosiota sähköstaattisessa istukassa ja minimoida sähköstaattisen istukan ylläpito- ja vaihtokustannukset.