Alumiinioksidirobottivarsi

Semicorex-alumiinioksidirobottivarsi on korkean suorituskyvyn keraaminen osa, joka on suunniteltu kiekkojen käsittelyyn ja siirtotehtäviin puolijohdetuotannossa. Tämä robottivarsi on valmistettu korkean puhtaan alumiinioksidikeraamisesta (al₂o₃), joustavuus, tarkkuus, luotettavuus ja kestävyys puhtaissa huoneissa.

Se, mikä erottuu alumiiniobotin varren puolesta, on ominaisuudetalumiiniohjelmaMekaaninen lujuus ja kovuus. Kunalumiinioksotehdään puhtaammaksi, alumiinioksidi ylläpitää parempaa rakenteellista eheyttä ja tekee siitä kestävämmän mekaanisen kulumisen ja muodonmuutoksen kannalta. Materiaalina alumiinioksidi on loistava valinta robotiosille, joita käytetään herkissä ja toistuvissa kiekkojen käsittelytehtävissä, ts. Kun robottivarren on suoritettava sama toiminto ja otettava yhteys kiekkoihin, se, että robotti käsivarsit voivat maksaa vähäisen vääristymisen kiekkoon, voi maksaa laitoksen satohäviöitä. Korkea kovuus, ts. Jäykät pinnat, voi auttaa hankaavassa resistanssissa ja toiminnallisessa elämässä, ts. Palvelun/ korvaamisen pidentäminen ja keston robottikomponentilla.

Mekaanisen kestävyytensä lisäksi alumiinioksidirobottivarsi on myös erinomainen sähköeriste. Resistiivisyys on enintään 10¹⁵ ω · cm ja eristyslujuus on jopa 15 kV/mm huoneenlämpötilassa, mikä tarjoaa paljon turvallisemman ympäristön käytöstä, varsinkin kun käsittelylaitteissa on vähennettävä sähköisiä signaaleja. Tästä tulee tärkeä, kun suojaa herkkiä puolijohdekomponentteja, jotka siirtyvät prosessien välillä, joilla on minimaalinen sähköstaattisen purkausriski (ESD).

Alumiinioksidi -keraaminen ylläpitää vakautta erittäin korkeissa lämpötiloissa. Sulamispiste on noin 2050 ° C ja kestää korkeita lämpötiloja puolijohdekappaleen lämpökäsittelyssä ilman vääntymistä tai mittatarkkuutta. Korkea lämmönkestävyys mahdollistaa käsivarren käytön prosesseissa, kuten nopean lämmön hehkutuksen (RTA) tai kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD), joissa tarkkuuden kohdistaminen ja lämpöstabiilisuus ovat kriittisiä.

Yksi muusta alumiiniobotin käsivarren merkittävistä eduista on sen inertti. Sen pinta on inertti useimpiin puhdistusaineisiin ja prosessikaasuihin, joita käytetään puolijohteiden valmistuksessa. Siksi se pysyy saastumattomana eikä edistä kiekkojen pinnan saastumista. Tämä kemiallinen inertti on avain erittäin puhdas tuotantoolosuhteiden saavuttamiseen ja johdonmukaisen laitteen suorituskyvyn aikaansaamiseen.

Alumiiniohjelmaon myös edullinen vaihtoehto puolijohdetyökaluille. Se on helposti saatavana raaka -aineena ja alumiinioksidikeramiikan koneistusprosessit ovat hyvin ymmärrettäviä ja helposti skaalautuvia. Tämä mahdollistaa toistettavien ja johdonmukaisten toleranssien korkealaatuisten osien tuottamisen kilpailukykyiseen hintaan. Suorituskyvyn ja kohtuuhintaisuuden sekoitus tekee alumiinioksidirobottivarren ihanteellisesta OEM: n ja puolijohteiden FABS: lle, joissa tarvitset luotettavia automaatiokomponentteja, jotka eivät riko pankkia.

Yhteenvetona voidaan todeta, että alumiinioksidirobottivarsi tarjoaa korkean mekaanisen suorituskyvyn, korkean dielektrisen suorituskyvyn, korkean lämmönkestävyyden, korkean kemiallisen suorituskyvyn, ja kaikki on todistettu valmistettavuus taloudellisella hinnalla. Yhdessä nämä suorituskykyominaisuudet tekevät siitä luotettavan ja tehokkaan tarkkuuden kiekkojen käsittelysovelluksiin puolijohteiden valmistuksessa, mikä mahdollistaa parantuneen saannon, mahdollisesti vähentäen saastumisriskiä ja parantamalla laitteiden kokonaistehokkuutta.