Alumiinioksidilaitteet

Semicorex-alumiinioksidi-asennuslevyt ovat erittäin puhtaita keraamisia tuotteita, jotka on suunniteltu kestäviksi ja vakaiksi tukikohdiksi puolijohteiden valmistuslaitteiden asentamiseen. Nämä levyt tarjoavat kriittisen mekaanisen tuen ja kohdistuksen kiekkojen käsittelytoimintoihin, kuten litografia, etsaus, laskeuma ja tarkastus. On välttämätöntä kohdistaa työpoikun tarkasti muiden järjestelmän komponenttien kanssa varmistaaksesi, että kiekkojen käsittely voi tapahtua vaaditun uskollisuuden avulla. Levyt valmistetaan keramiikalle ominaisten prosessointitekniikoiden avulla tarvittavan tasaisuuden, korkean lämpötilan kestävyyden ja pitkäaikaisen luotettavuuden saavuttamiseksi vastaamaan modernin puolijohteiden valmistuksen ankaria vaatimuksia sekä prosessi- että puhdistushuoneissa.

Semicorex-alumiinioksidi-asennusalustalevyt on valmistettu korkeasta puhtaastaalumiinioksopuhtausaste ≧ 99,5% (tyypillinen). Korkealla alumiinioksidilla on hyvät mekaaniset ja lämpöominaisuudet sekä kovuus. Korkealla alumiinioksidilla on erinomaiset luontaiset sähköeristävät ominaisuudet, jotka sallivat myös näiden levyjen käytön tyhjiö- ja korkeajännitesovelluksissa, joissa sähköhäiriöt voivat olla ongelma. Alumiinioksidi on vastustuskykyinen lämpösyklille, mikä antaa levyille mahdollisuuden ylläpitää parempaa mittatarkkuutta kuin useimmat materiaalit ja on hyödyllistä linjauksen tai rakenteellisen stabiilisuuden ylläpitämisessä vähentyneen lämmön laajenemisen vuoksi. Tämä tekijä on tärkeä Cuckin toistettavuuden ja implisiittisten prosessitoleranssien varmistamisessa, samalla kun ne toimivat laajennetuilla tuotantosykleillä.

Puolijohteiden prosessointijärjestelmissä asennus pohjalevy ei ole vain laite mekaaniseen kiinnitystä varten. Se on istukan ja muun laitteen välinen lämpökontaktin väliaine, ja se on kriittinen lämpöhäiriöiden, rakenteellisen eheyden ja tärinän eristämisen kannalta. Käsittelytoimenpiteet, kuten CVD-, PVD- tai ionin implantointi (mutta ei rajoittuen), joissa korkeat lämpötilat ja tyhjiöpaineet ovat yleisiä, edellyttävät asennuspohjan olevan lämpökestävä, kemiallisesti inertti ja kestävä, mekaanisesti ääni ja lämpöiskun kestävä. Kemiallinen inertti on elintärkeää, koska kiinnitys on oltava yhteensopiva reaktiivisten kaasujen, samoin kuin puhdistuskemikaalien kanssa, pidentämällä vuoren käyttöikää ja saastumisen estäminen.

Jokainen Semicorexin valmistama alumiinioksidi -asennuslevy on koneistettu puolijohteiden valmistajien ja laite -integraattoreiden vaativiin toleransseihin. Levyt on koneistettu tiukkaan toleranssiin paksuuden, korkeuden vaihtelun ja tasaisuuden varmistamiseksi maksimaalisen stabiilisuuden ja toistettavuuden varmistamiseksi. Nämä asennuslevyt voidaan valmistaa asennusreioilla, lähtö- tai kohderyhmillä asiakasspesifikaatioihin, jotta työpoikut, mekaaniset vaiheet tai muut laitteet olisivat paremmin. Alumiinioksidikeraamia prosessoidaan käyttämällä moderneja sintraus- ja tarkkuushiomitekniikoita tasaisen mikrorakenteen ja pinnan laadun optimoimiseksi yhdenmukaisen lämpökontaktin ja kohdistamisen varmistamiseksi ajan myötä.

Semicorex -alumiinioksidialuepohjalevyjä käytetään useissa sovelluksissa, mukaan lukien kiekkojen käsittelijät, robottivaihtojärjestelmät, tyhjiökokoonpanot ja metrologiavaiheet. Tämä luotettavuus ja kestävyys monissa vaativissa prosessitilanteissa tekevät niistä valittujen tuotteiden kanssa työkalujen valmistajien kanssa, jotka etsivät vankkoja, pitkäikäisiä, vähäisiä huoltokeraamisia komponentteja. Suunnitteluryhmämme kumppanimme asiakkaiden kanssa tarjoamaan jokaiselle levylle ainutlaatuisia ratkaisuja puolijohteen tuotannon tehokkuuden maksimoimiseksi.

Alumiinioksidilaitteet ovat enemmän kuin vain mekaaninen tuki; Se on avainkomponentti tarkkuustekniikassa puolijohdeteollisuudessa. Erinomaisella mekaanisella stabiilisuudella, puhtaudella ja konfiguroitavuudella ne varmistavat tarkan kohdistuksen, pitkän käyttöiän ja luotettavan toiminnan laajassa prosessityökaluissa. Korkean suorituskyvyn asennuslevyille, jotka täyttävät nykypäivän puolijohdevalmistajien korkeat odotukset, luottamus Semicorexiin.