Alumiinioksidin pääteefektori

Semicorex Alumina End Effectorin materiaalin valinta perustuu erittäin puhtaan alumiinioksidikeramiikan ainutlaatuiseen soveltuvuuteen puolijohteiden valmistuksessa kohtaaviin ankariin ympäristöihin: 

Poikkeuksellinen puhtaus kontaminaation hallinnassa: Alumina End Effectorille, joka sisältää erittäin puhdasta alumiinioksidikeraamia alustana, on äärimmäisen alhainen epäpuhtauspitoisuus, mikä varmistaa, että se ei sisällä epäpuhtauksia, jotka voisivat vaarantaa herkkien puolijohdelaitteiden sähköisiä ominaisuuksia tai suorituskykyä.

Korkean lämpötilan vakaus prosessin monipuolisuuteen:Alumina End Effectorilla on erinomainen lämmönkestävyys, ja se säilyttää rakenteellisen eheytensä ja mittatarkkuutensa jopa korkeissa lämpötiloissa, joita esiintyy prosesseissa, kuten lämpöhapetuksessa, diffuusiossa ja kemiallisessa höyrysaostuksessa.

Kemiallinen inertisyys ankariin ympäristöihin:Alumina End Effectorin luontainen kemiallinen kestävyys tekee siitä läpäisemättömän laajalle valikoimalle happoja, emäksiä ja liuottimia, joita yleisesti käytetään puolijohteiden käsittelyssä. Tämä inertisyys estää päätelaitteen korroosion tai huonontumisen, varmistaa sen pitkäaikaisen suorituskyvyn ja minimoi hiukkaskontaminaation riskin.

Kestävät mekaaniset ominaisuudet pidentävät käyttöikää:Alumiinioksidikeramiikka tunnetaan kovuudestaan, kulutuskestävyydestään ja kyvystään kestää toistuvia käsittely- ja puhdistusjaksoja hajoamatta. Tämä kestävyys merkitsee Alumina End Effectorin pidennettyä käyttöikää, mikä vähentää vaihtokustannuksia ja seisokkeja.

Alumina End Effectorin tarkkuus, puhtaus ja kestävyys ovat tehneet siitä olennaisen osan useissa kriittisissä puolijohteiden valmistusprosesseissa:

Valokuvalitografia:Kiekkojen tarkka kohdistus ja sijoitus ovat ensiarvoisen tärkeitä fotolitografiassa, jossa pienetkin poikkeamat voivat johtaa kohdistusvirheisiin ja laitevikaan. Alumina End Effector tarjoaa tarvittavan tarkkuuden ja vakauden tähän kriittiseen prosessivaiheeseen.

Kemiallinen mekaaninen tasoitus (CMP):Kyky kestää CMP:hen liittyvät kemiallisesti aggressiiviset lietteet ja mekaaniset voimat tekevät Alumina End Effectorista ihanteellisen kiekkojen käsittelyyn tämän kriittisen prosessin aikana, mikä tasoittaa kiekon pinnan myöhempää kerrostamista varten.

Kiekkojen tarkastus ja metrologia:Alumina End Effectorin ei-kontaminoiva ja vahingoittumaton luonne tekee siitä ihanteellisen kiekkojen käsittelyyn tarkastus- ja metrologisten prosessien aikana, mikä varmistaa tarkat mittaukset ja minimoi vikojen riskin.