Alumiinioksidikeraaminen tyhjiöistukka

Semicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuckilla on keskeinen rooli puolijohteiden valmistuksen kiekkojen ohennus- ja hiontavaiheissa. Näihin vaiheisiin kuuluu kiekon alustan paksuuden huolellinen vähentäminen sirun lämmönpoiston parantamiseksi, mikä on elintärkeää puolijohdelaitteiden tehokkuuden ja pitkäikäisyyden parantamiseksi. Kiekkojen ohentaminen tarkkojen määritysten mukaan on myös erittäin tärkeää edistyneiden pakkaustekniikoiden helpottamiseksi.

Yhteensopiva useiden kiekkokokojen kanssa

Alumiinioksidikeraaminen tyhjiöistukka on suunniteltu tukemaan monenlaisia ​​kiekkokokoja, mukaan lukien 2, 3, 4, 5, 6, 8 ja 12 tuumaa. Tämä mukautuvuus tekee siitä sopivan monenlaisiin puolijohteiden tuotantoympäristöihin, mikä varmistaa tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn eri kiekkojen mitoissa.

Ylivoimainen materiaalikoostumus

Alumina Ceramic Vacuum Chuckin pohja on valmistettu erittäin puhtaasta 99,99 % alumiinioksidista (Al2O3), joka tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden kemiallisille hyökkäyksille ja lämpöstabiilisuuden. Adsorptiopinta on valmistettu huokoisesta piikarbidista (SiC). Huokoisen keraamisen materiaalin kompakti ja yhtenäinen rakenne parantaa sen kestävyyttä ja suorituskykyä.

Mikrohuokoisen keraamisen tekniikan edut

Parannettu tasaisuus ja yhdensuuntaisuus: Mikrohuokoinen alumiinioksidikeraaminen tyhjiöistukka tarjoaa poikkeuksellisen tasaisuuden ja yhdensuuntaisuuden, mikä varmistaa kiekkojen tarkan käsittelyn ja vakauden.

Optimaalinen huokoisuus ja hengittävyys: Hyvin jakautuneet mikrohuokoset tarjoavat erinomaisen ilmanläpäisevyyden ja tasaisen adsorptiovoiman, mikä johtaa tasaiseen ja tasaiseen toimintaan.

Materiaalin puhtaus ja kestävyys: Valmistettu 99,99 % puhtaasta alumiinioksidista, alumiinioksidikeraaminen tyhjiöistukka kestää kemiallisia hyökkäyksiä ja tarjoaa huomattavan lämpöstabiilisuuden, joten se sopii vaativiin valmistusympäristöihin.

Muokattavat mallit: Tarjoamme erilaisia ​​muokattavissa olevia muotoja, mukaan lukien pyöreät, neliömäiset, silmukkamaiset ja L-muotoiset mallit, joiden paksuus vaihtelee 3 mm:stä 10 mm:iin. Tämä räätälöinti varmistaa, että alumiinioksidikeraaminen tyhjiöistukkamme täyttää eri puolijohteiden valmistusprosessien erityistarpeet.

Monipuoliset pohjamateriaalivaihtoehdot: Tasaisuuden ja tuotantokustannusvaatimusten perusteella annamme suosituksia erilaisille perusmateriaaleille, kuten ruostumattomasta teräksestä SUS430, alumiiniseoksesta 6061, tiheästä alumiinioksidikeramiikasta (norsunluun värinen), graniittista ja tiheästä piikarbidikeramiikasta. Jokainen materiaali on valittu optimoimaan alumiinioksidikeraamisen tyhjiöistukan paino ja suorituskyky.