Alumiinioksidikeraaminen manipulaattori

Alumiinioksidikeraaminen manipulaattoriSitä kutsutaan myös alumiinioksidikeraamiksi haarukan ja kiekon käsittelypääteefektoriksi. Se asennetaan kiekkojen käsittelyrobotille ja vastaa robotin kättä. Sitä käytetään puolijohdekiekkojen kuljettamiseen, kuljettamiseen ja sijoittamiseen.Piikiekotovat erittäin herkkiä muiden hiukkasten aiheuttamille kontaminaatioille, joten niitä käsitellään tyypillisesti tyhjiöympäristössä puhtauden varmistamiseksi. Alumiinioksidikeraamiset manipulaattorit käyttävät alipaineimua kiekkojen poistamiseen ja puolijohdekiekkojen kuljettamiseen varren teleskooppi-, pyörimis- ja nostoliikkeillä. Alumiinioksidikeraamisen manipulaattorin sisällä on ilmareiät ja tuuletusurat, jotka voivat muodostaa tyhjiön ilmaa pumpattaessa, jolloin puolijohdekiekot voidaan adsorboida kevyellä kosketuksella puristamatta tai vahingoittamatta puolijohdekiekkoja.

On hyvin tunnettua, että mitä puhtaampi koostumusalumiinioksidi keramiikkaon, mitä suurempi sen vahvuus on. Semicorex-alumiinioksidikeraamiset manipulaattorit on valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidikeraamista. Tämä tuottaa poikkeuksellisen mekaanisen lujuuden ja kovuuden. Niiden kulutuskestävyys ylittää huomattavasti teräksen ja kromiteräksen kulutuskestävyyden, minkä ansiosta ne voivat säilyttää pinnan tarkkuuden ajan mittaan korkeakitkaisissa ympäristöissä, mikä vähentää kiekkojen naarmujen riskiä ja tekee niistä ihanteellisia erittäin tarkkaan käsittelyyn. Tällä alumiinioksidikeraamisella manipulaattorilla on korkea ominaisvastus. Sen erinomaiset sähköeristysominaisuudet voivat tehokkaasti estää sähköstaattisia häiriöitä ja vähentää hiukkasten adsorption riskiä, ​​jotta kiekkojen pinta pysyy puhtaana. Lisäksi puolijohteiden valmistusprosessi sisältää monimutkaisia ​​piirejä ja suurjänniteympäristöjä laitteessa. Korkean resistanssin alumiinioksidikeraaminen manipulaattori estää tehokkaasti virran johtumisen ja varmistaa sähköturvallisuuden puolijohdekiekkojen käsittelyn aikana. Alumiinioksidikeramiikan korkean lämpötilan kestävyyden ja lämpöstabiilisuuden ansiosta manipulaattori muuttaa muotoaan hyvin vähän puolijohteiden lämpökäsittelyprosessin aikana, voi sijoittaa kiekot tarkasti ja välttää lämpömuodonmuutoksen aiheuttamia tarkkoja poikkeamia. Lisäksi tällä materiaalilla on erinomainen kemiallinen stabiilisuus ja se kestää erittäin hyvin happojen, emästen, sulan metallin jne. aiheuttamaa korroosiota. Se ei ole helppo reagoida muiden aineiden kanssa vapauttamaan saastuttavia hiukkasia, ja se voi tehokkaasti suojata puolijohdeosia kemiallisilta saastumiselta.