Al2O3 tyhjiöistukka

Sovellukset puolijohteiden valmistuksessa

SemicorexAl2O3 Vacuum Chuck on monipuolinen työkalu, jota käytetään puolijohteiden tuotannon useissa vaiheissa:

Ohentaminen: Kiekkojen ohennusprosessin aikana Al2O3-tyhjiöistukka tarjoaa vakaan ja tasaisen tuen varmistaen erittäin tarkan substraatin pienentämisen. Tämä on ratkaisevan tärkeää lastun lämmönpoiston parantamiseksi ja laitteen suorituskyvyn parantamiseksi.

Kuutioiminen: Viipalointivaiheessa, jossa kiekot leikataan yksittäisiksi lastuiksi, Al2O3-tyhjiöistukka tarjoaa turvallisen ja vakaan adsorption, minimoiden vaurioiden riskin ja varmistaen puhtaat leikkaukset.

Puhdistus: Al2O3 Vacuum Chuckin sileä ja tasainen adsorptiopinta tekee siitä sopivan kiekkojen puhdistusprosesseihin varmistaen, että epäpuhtaudet poistetaan tehokkaasti vahingoittamatta kiekkoja.

Kuljetus: Kiekkojen käsittelyn ja kuljetuksen aikana Al2O3-tyhjiöistukka tarjoaa luotettavan ja varman tuen vähentäen vaurioiden ja saastumisen riskiä.

SemicorexTyhjiöChuck Flow

SemicorexAl2O3 -tyhjiöistukan edut

1. Yhtenäinen mikrohuokoinen keraaminen tekniikka

Al2O3-tyhjiöistukka on valmistettu mikrohuokoisella keraamisella teknologialla, jossa käytetään tasakokoisia nanojauheita. Tämä tekniikka varmistaa, että huokoset jakautuvat tasaisesti ja liittyvät toisiinsa, mikä johtaa korkeaan huokoisuuteen ja tasaisen tiiviiseen rakenteeseen. Tämä tasaisuus parantaa tyhjiöistukan suorituskykyä tarjoten tasaisen ja luotettavan kiekon tuen.

2. Poikkeukselliset materiaaliominaisuudet

Al2O3-tyhjiöistukassa käytetty erittäin puhdas 99,99 % alumiinioksidi (Al2O3) tarjoaa joukon poikkeuksellisia ominaisuuksia:

Lämpöominaisuudet: Korkean lämmönkestävyyden ja erinomaisen lämmönjohtavuuden ansiosta Al2O3-tyhjiöistukka kestää puolijohteiden valmistuksessa yleisesti esiintyviä korkeita lämpötiloja.

Mekaaniset ominaisuudet: Alumiinioksidin korkea lujuus ja kovuus varmistavat, että Al2O3-tyhjiöistukka on kestävä ja kulutusta kestävä, mikä tarjoaa pitkäkestoisen suorituskyvyn.

Muut ominaisuudet: Alumiinioksidi tarjoaa myös korkean sähköeristyksen ja korroosionkestävyyden, joten Al2O3-tyhjiöistukka sopii monenlaisiin valmistusympäristöihin.

3. Ylivoimainen tasaisuus ja yhdensuuntaisuus

Yksi Al2O3-tyhjiöistukan tärkeimmistä eduista on sen suuri tasaisuus ja yhdensuuntaisuus. Nämä ominaisuudet ovat ratkaisevia, jotta varmistetaan tarkka ja vakaa kiekkojen käsittely, minimoidaan vaurioitumisriski ja varmistetaan tasaiset käsittelytulokset. Lisäksi Al2O3-tyhjiöistukan hyvä ilmanläpäisevyys ja tasainen adsorptiovoima takaavat sujuvan ja luotettavan toiminnan.

4. Mukauttaminen

Me Semicorexilla ymmärrämme, että jokaisella puolijohteiden valmistusprosessilla on ainutlaatuiset vaatimukset. Siksi tarjoamme räätälöityjä tyhjiöistukkaita, jotka on räätälöity vastaamaan sinun erityistarpeitasi. Riippuen vaaditusta tasaisuudesta ja tuotantokustannuksista, suosittelemme erilaisia ​​perusmateriaaleja, jotta varmistetaan, että tyhjiöistukan paino ja suorituskyky on optimoitu käyttötarkoitukseenne. Näitä materiaaleja ovat ruostumaton teräs SUS430, alumiiniseos 6061, tiheä alumiinioksidikeramiikka (norsunluun värinen), graniitti ja tiheä piikarbidikeramiikka.

Al2O3-tyhjiöistukan CMM-mittaus