6 tuuman N-tyypin SiC kiekko

Semicorex tarjoaa erityyppisiä 4H- ja 6H-SiC-kiekkoja. Olemme olleet kiekkojen valmistaja ja toimittaja useiden vuosien ajan. Kaksoiskiillotetulla 6 tuuman N-tyypin SiC-kiekkollamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorexilla on täydellinen piikarbidi (SiC) kiekkotuotesarja, joka sisältää 4H- ja 6H-substraatit N-tyypin, P-tyypin ja korkean puhtauden puolieristetyillä kiekoilla, ne voivat olla epitaksilla tai ilman. 4 tuuman N-tyypin SiC (piikarbidi) -substraattimme on eräänlainen korkealaatuinen kiekko, joka on valmistettu piikarbidin kiteestä, jossa on N-tyyppinen seostus ja joka on kaksinkertaisesti kiillotettu.

6 tuuman N-tyypin piikarbidikiekkoa käytetään pääasiassa uusissa energiaajoneuvoissa, suurjännitevaihteistoissa ja sähköasemissa, kodinkoneissa, suurnopeusjunissa, sähkömoottoreissa, aurinkosähköinverttereissä, pulssiteholähteissä ja muilla aloilla, joilla on etuja vähentäviä laitteita. energiahäviö, parantaa laitteiden luotettavuutta, pienentää laitteiden kokoa ja parantaa laitteiden suorituskykyä, ja niillä on korvaamattomia etuja tehoelektroniikkalaitteiden valmistuksessa.

Tuotteet	Tuotanto	Tutkimus	Nukke
Kristalliparametrit
Polytyyppi	4H
Pinnan suuntausvirhe	<11-20 >4±0,15°
Sähköiset parametrit
Seostusaine	n-tyypin typpi
Resistanssi	0,015-0,025 ohm·cm
Mekaaniset parametrit
Halkaisija	150,0±0,2 mm
Paksuus	350±25 μm
Ensisijainen tasainen suunta	[1-100]±5°
Ensisijainen litteä pituus	47,5±1,5 mm
Toissijainen asunto	Ei mitään
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤15 μm
LTV	≤3 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	≤10 μm (5mm*5mm)
Bow	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Loimi	≤35 μm	≤45 μm	≤55 μm
Etuosan (Si-face) karheus (AFM)	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Rakenne
Mikroputken tiheys	<1 e/cm2	<10 e/cm2	<15 ea/cm2
Metallien epäpuhtaudet	≤5E10atomia/cm2		ETTÄ
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	ETTÄ
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	ETTÄ
Laatu edessä
Edessä	Ja
Pintakäsittely	Si-face CMP
Hiukkaset	≤60ea/kiekko (koko ≥0,3μm)	ETTÄ
Naarmut	≤5ea/mm. Kumulatiivinen pituus ≤ Halkaisija	Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija	ETTÄ
Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovat/halkeamat/kontaminaatio	Ei mitään		ETTÄ
Reunalastut/sisvennykset/murtuma/kuusiolevyt	Ei mitään
Polytyyppialueet	Ei mitään	Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 20 %	Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 30 %
Lasermerkintä edessä	Ei mitään
Takana Laatu
Takana viimeistely	C-face CMP
Naarmut	≤5ea/mm,Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija	ETTÄ
Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset)	Ei mitään
Selän karheus	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Takana lasermerkintä	1 mm (yläreunasta)
Reuna
Reuna	Viiste
Pakkaus
Pakkaus	Epi-valmis tyhjiöpakkauksella Multi-kiekkokasettipakkaus
*Huomautuksia: "NA" tarkoittaa, että ei pyyntöä Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen.