4 tuuman N-tyypin SiC-substraatti

Semicorex tarjoaa erityyppisiä 4H- ja 6H-SiC-kiekkoja. Olemme valmistaneet ja toimittaneet piikarbidituotteita useiden vuosien ajan. 4 tuuman N-tyypin SiC-alustallamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorexilla on täydellinen piikarbidi (SiC) kiekkotuotesarja, joka sisältää 4H- ja 6H-substraatit N-tyypin, P-tyypin ja korkean puhtauden puolieristetyillä kiekoilla, ne voivat olla epitaksilla tai ilman. 4 tuuman N-tyypin SiC (piikarbidi) -substraatti on eräänlainen korkealaatuinen kiekko, joka on valmistettu yhdestä piikarbidin kiteestä, jossa on N-tyyppinen seostus.

4 tuuman N-tyypin SiC-substraattia käytetään pääasiassa uusissa energia-ajoneuvoissa, suurjännitevaihteistoissa ja sähköasemissa, kodinkoneissa, suurnopeusjunissa, sähkömoottoreissa, aurinkosähköinverttereissä, pulssivirtalähteissä ja muilla aloilla, joilla on etuja vähentää laitteita. energiahäviö, parantaa laitteiden luotettavuutta, pienentää laitteiden kokoa ja parantaa laitteiden suorituskykyä, ja niillä on korvaamattomia etuja tehoelektroniikkalaitteiden valmistuksessa.

Tuotteet	Tuotanto	Tutkimus	Nukke
Kristalliparametrit
Polytyyppi	4H
Pinnan suuntausvirhe	<11-20 >4±0,15°
Sähköiset parametrit
Seostusaine	n-tyypin typpi
Resistanssi	0,015-0,025 ohm·cm
Mekaaniset parametrit
Halkaisija	99,5-100 mm
Paksuus	350±25 μm
Ensisijainen tasainen suuntaus	[1-100]±5°
Ensisijainen litteä pituus	32,5±1,5 mm
Toissijainen tasainen asento	90° CW ensisijaisesta tasosta ±5°. silikonipuoli ylöspäin
Toissijainen litteä pituus	18±1,5 mm
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤2 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	ETTÄ
Keula	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Loimi	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Etuosan (Si-face) karheus (AFM)	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Rakenne
Mikroputken tiheys	≤1 ea/cm2	≤5 ea/cm2	≤10 ea/cm2
Metallien epäpuhtaudet	≤5E10atomia/cm2		ETTÄ
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	ETTÄ
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	ETTÄ
Laatu edessä
Edessä	Ja
Pintakäsittely	Si-face CMP
Hiukkaset	≤60ea/kiekko (koko ≥0,3μm)	ETTÄ
Naarmut	≤2ea/mm. Kumulatiivinen pituus ≤ Halkaisija	Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija	ETTÄ
Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovat/halkeamat/kontaminaatio	Ei mitään		ETTÄ
Reunamurtumat/sisvennykset/murtuma/kuusiolevyt	Ei mitään		ETTÄ
Polytyyppialueet	Ei mitään	Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 20 %	Kumulatiivinen pinta-ala ≤ 30 %
Lasermerkintä edessä	Ei mitään
Takana Laatu
Takana viimeistely	C-face CMP
Naarmut	≤5ea/mm,Kumulatiivinen pituus≤2*Halkaisija	ETTÄ
Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset)	Ei mitään
Selän karheus	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Takana lasermerkintä	1 mm (yläreunasta)
Reuna
Reuna	Viiste
Pakkaus
Pakkaus	Sisäpussi on täytetty typellä ja ulompi pussi imuroidaan. Monikiekkokasetti, epi-valmis.
*Huomautuksia: "NA" tarkoittaa, että ei pyyntöä Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen.