Semicorex tarjoaa erityyppisiä 4H- ja 6H-SiC-kiekkoja. Olemme valmistaneet ja toimittaneet piikarbidituotteita useiden vuosien ajan. 4 tuuman N-tyypin SiC-substraatillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Semicorexilla on täydellinen piikarbidi (SiC) kiekkotuotesarja, joka sisältää 4H- ja 6H-substraatit N-tyypin, P-tyypin ja korkean puhtauden puolieristetyillä kiekoilla, ne voivat olla epitaksilla tai ilman. 4 tuuman N-tyypin SiC (piikarbidi) -substraatti on eräänlainen korkealaatuinen kiekko, joka on valmistettu yhdestä piikarbidin kiteestä, jossa on N-tyyppinen seostus.
4 tuuman N-tyypin SiC-substraattia käytetään pääasiassa uusissa energia-ajoneuvoissa, suurjännitevaihteistoissa ja sähköasemissa, kodinkoneissa, suurnopeusjunissa, sähkömoottoreissa, aurinkosähköinverttereissä, pulssiteholähteissä ja muilla aloilla, joilla on etuja vähentäviä laitteita. energiahäviö, parantaa laitteiden luotettavuutta, pienentää laitteiden kokoa ja parantaa laitteiden suorituskykyä, ja niillä on korvaamattomia etuja tehoelektroniikkalaitteiden valmistuksessa.
Tuotteet |
Tuotanto |
Tutkimus |
Nukke |
Kristalliparametrit |
|||
Polytyyppi |
4H |
||
Pinnan suuntausvirhe |
<11-20 >4±0,15° |
||
Sähköiset parametrit |
|||
Seostusaine |
n-tyypin typpi |
||
Resistanssi |
0,015-0,025 ohm·cm |
||
Mekaaniset parametrit |
|||
Halkaisija |
99,5-100 mm |
||
Paksuus |
350±25 μm |
||
Ensisijainen tasainen suuntaus |
[1-100]±5° |
||
Ensisijainen litteä pituus |
32,5±1,5 mm |
||
Toissijainen tasainen asento |
90° CW ensisijaisesta tasosta ±5°. silikonipuoli ylöspäin |
||
Toissijainen litteä pituus |
18±1,5 mm |
||
TTV |
⤠5 μm |
⤠10 μm |
⤠20 μm |
LTV |
⤠2 μm (5mm*5mm) |
¤ 5 μm (5 mm * 5 mm) |
NA |
Keula |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Loimi |
⤠20 μm |
⤠45 μm |
⤠50 μm |
Etuosan (Si-face) karheus (AFM) |
Raâ¤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Rakenne |
|||
Mikroputken tiheys |
⤠1 ea/cm2 |
5 ea/cm2 |
10 ea/cm2 |
Metallien epäpuhtaudet |
5E10 atomia/cm2 |
NA |
|
BPD |
1500 ea/cm2 |
3000 ea/cm2 |
NA |
TSD |
500 ea/cm2 |
1000 ea/cm2 |
NA |
Laatu edessä |
|||
Edessä |
Si |
||
Pinnan viimeistely |
Si-face CMP |
||
Hiukkaset |
60 ea / kiekko (koko 0,3 ¼m) |
NA |
|
Naarmut |
â¤2ea/mm. Kumulatiivinen pituus â¤Halkaisija |
Kumulatiivinen pituus – 2*Halkaisija |
NA |
Appelsiininkuori/kuopat/tahrat/juovat/halkeamat/kontaminaatio |
Ei mitään |
NA |
|
Reunamurtumat/sisvennykset/murtuma/kuusiolevyt |
Ei mitään |
NA |
|
Polytyyppialueet |
Ei mitään |
Kumulatiivinen pinta-ala 20 % |
Kumulatiivinen pinta-ala 30 % |
Lasermerkintä edessä |
Ei mitään |
||
Takana Laatu |
|||
Takana viimeistely |
C-face CMP |
||
Naarmut |
5ea/mm, kumulatiivinen pituus 2*Halkaisija |
NA |
|
Takaosan viat (reunahalkeumat/synnykset) |
Ei mitään |
||
Selän karheus |
Raâ¤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Takana lasermerkintä |
1 mm (yläreunasta) |
||
Reuna |
|||
Reuna |
Viiste |
||
Pakkaus |
|||
Pakkaus |
Sisäpussi on täytetty typellä ja ulompi pussi imuroidaan. Monikiekkokasetti, epi-valmis. |
||
*Huomautuksia ¼ "NA" tarkoittaa, ettei pyyntöä ole. Kohteet, joita ei ole mainittu, voivat viitata SEMI-STD:hen. |