15" Quartz Bell Jar

Semicorex 15" Quartz Bell Jar on suunniteltu vastaamaan näihin haasteisiin, ja se tarjoaa korkean suorituskyvyn ratkaisun keskisuuren ja suuren mittakaavan eräkäsittelyyn, jossa lämpötasaisuus ja materiaalin puhtaus ovat välttämättömiä saannon maksimoimiseksi. Puolijohde- ja ohutkalvoteollisuudessa prosessikammion eheys on ensiarvoisen tärkeää. Kemikaalien kutistuvuuden ja kutistuvuuden kasvaessa ja tarpeettomaksi inertistä ympäristöstä tulee ei-neuvotteleva.

1. Materiaalitiede: sulatetun piidioksidin puhtaus

Kellopurkkimme perusta on erittäin puhdassulatettu piidioksidi (kvartsi). Toisin kuin tavallinen lasi, kvartsi koostuu lähes kokonaan SiO2:sta, mikä tarjoaa ainutlaatuisia ominaisuuksia, jotka ovat tärkeitä puolijohteiden valmistuksessa:

Erittäin alhainen kontaminaatio: Kvartsimme on prosessoitu metallisten hivenaineiden (kuten Al, Fe, Na ja K) minimoimiseksi osien per miljardi (ppb) tasolle. Tämä estää epäpuhtauksien diffuusion kiekkoon korkean lämpötilan jaksojen aikana ja varmistaa laitteiden sähköisen eheyden.

Erinomainen lämpöiskun kestävyys: Kvartsilla on lähes nolla lämpölaajenemiskerroin (CTE). Tämän ansiosta 15" Quartz Bell Jar kestää nopean lämpötilan nousun ja sammumisen ilman murtuman tai rakenteellisen väsymisen riskiä - kriittinen vaatimus suuritehoisille reaktoreille.

Erinomainen kemiallinen inertisyys: Kvartsi kestää erittäin hyvin useimpia happoja (lukuun ottamatta fluorivetyhappoa) ja syövyttäviä prosessikaasuja, mikä varmistaa, että kammio ei hajoa tai kaasua ulos aggressiivisten syövytys- tai saostusjaksojen aikana.

2. Tarkkuustekniikka ja optinen selkeys

15" Quartz Bell Jar tarjoaa suurimman tilavuuden ja optimaalisen kaasun virtausdynamiikan panoskiekkojen käsittelyä varten. Purkissa on pystysuora savupiippu (tunnetaan myös nimellä kaula), joka on suunniteltu optimaalisesti tarjoamaan kaasun sisääntulo tai auttamaan kaasun poistamisessa tyhjiön kautta, mikä näkyy yllä olevassa kuvassa.

Optinen läpinäkyvyys – korkea siirtotasokvartsi materiaaliaaallonpituuksien lähettäminen spektrin ultravioletti-, näkyvä- ja infrapuna-alueilla mahdollistaa reaaliaikaisen käsittelyn sekä ulkoisten lampunlämmittimien käytön nopeaan lämpökäsittelyyn (RTP).

Vahvistetut tiivistyspinnat - Astian kaulassa on erityisesti kehitetty läpinäkymätön valkoinen tiiviste (kutsutaan myös maaliitoksiksi), joka tarjoaa hermeettisen (ilmatiiviin) ja tyhjiötiiviin rajapinnan reaktorin pohjalevyn ja tölkin välillä.

Hehkutus stressin lievittämiseksi - Kaikki 15" Quartz Bell Jar käyvät läpi tiukan lämpöhehkutusprosessin, joka vähentää sisäistä mekaanista rasitusta, joka on kohdistunut astiaan mekaanisen puhallus- tai muotoiluprosessin seurauksena, mikä vähentää merkittävästi todennäköisyyttä, että purkki hajoaa itsestään, kun se asetetaan tyhjökuormitukseen.

3. Semiconductor Fab:n kriittiset sovellukset

15" Quartz Bell Jarmme on suunniteltu erityisesti integroitaviksi seuraaviin arvokkaisiin prosesseihin:

Silicon Epitaxy: Tarjoaa läpinäkyvän, ei-reaktiivisen astian korkealaatuisten yksikiteisten piikerrosten kasvattamiseen.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Kestää syövyttävää plasmaympäristöä säilyttäen samalla korkean dielektrisen lujuuden.

Diffuusio ja hapetus: Toimii puhtaana, kuumana kammiona porttioksidien muodostumiseen ja lisäaineen sisäänajoon.

Optisten kuituaihioiden valmistus: Ihanteellinen piidioksidikerrosten erittäin puhtaaseen kerrostukseen erikoislasin valmistuksessa.

Käsittelemme Semicorexilla jokaista kellopurkkia tarkkuuslaboratoriolaitteena. Prosessimme sisältää: Tiukka materiaalin hankinta tarkistetulla sähköisellä laadullakvartsiharkot; edistynyt valmistus, jossa yhdistyvät perinteiset lasinpuhallustaidot CNC-ohjatulla hionnalla ja kiillotuksella; ja perusteellinen tarkastus polarisoidulla valolla jäännösjännityksen havaitsemiseksi ja laserinterferometria tarkkoja mittatarkastuksia varten.