Kiekon reunan hionta

Semicorex -kiekkojen reunan hionta Chuck on omistettu keraaminen osa, joka on valmistettu kiekkojen reunan hiontaprosessille puolijohteiden valmistuksen aikana. Keraamia on valmistettu korkeasta puhtaudesta, valkoisesta alumiinioksidista (al₂o₃), jolla on mekaaninen lujuus, kemiallinen kestävyys ja mitta -stabiilisuus kiekkojen jauhatusprosessin tukemiseksi. Koska uudet tekniikat vaativat suurempia kiekkojen halkaisijoita ja herkempiä rakenteita laitteissa, kiekkojen reunan hiomisella on nyt merkittävä rooli reunanhakautumisen, mikroruudun ja saannon ehkäisyssä. Alumiinioksidi -keraaminen jauhatus Chuck tarjoaa tasaisen lähtökohdan, jolle nämä tiukat valmistusvaatimukset voidaan täyttää.

Alumiiniohjelmakäytetään rakennusmateriaalina sen uskomattoman fysikaalisten, kemiallisten ja lämpöominaisuuksien vuoksi. Valkoisella alumiinioksidilla on erinomainen kovuus vain timantin kanssa, joka on korkeampi MOHS -kovuusasteikolla, mikä antaa hiontapoikaan kestää kulumisen ja hankauksen lähitulevaisuuteen toistuvan käytön avulla. Ottaen huomioon alumiinioksidin huomattavan mekaanisen lujuuden, kiekko voidaan tarttua ja pitää turvallisesti tarttua ja pitää, kun taas alumiinioksidin jäykkyys ei salli vääristymiä tai muodonmuutoksia, kun osa on käytetty. Tämän vuoksi alumiinioksidi on erinomainen valinta valaisimien ja tukien tuottamiseksi, missä tarkkuutta ja kestävyyttä vaaditaan.

Lämpötabiili on myös erottuva piirre alumiinioksidista keraamisesta. Kun sulamispiste on yli 2000 ° C ja lämpöhimkien stabiilisuus, istukka voi toimia olosuhteissa, joissa kitkan lämmitys tai lämpötilan muutos voi tapahtua, se on johdonmukainen W.R.T, jossa mitat stabiilisuus on kriittistä, vaikka hiontareunan muoto voi antaa vähän muutosta mitat. Kiinnitysvoima pysyy vahvana jatkuvasti siten, että ne jatkuvasti ylläpitää reunan hiontaa. Alumiinioksidien aluminan aluminan johtavuus ei saisi antaa paikallista lämmitystä lämmittää kiekko riittävästi kiekkojen eheyden kompromisseista herkän substraattien puolijohteiden käsittelyssä.

Kemiallisesta näkökulmasta alumiinioksidikeramiikalla ei ole juurikaan reaktiota happojen, emäksen ja puolijohteiden prosessoinnin plasmaympäristöihin. Toisin kuin metalliset istunnot, jotka saattavat syöpätä tai polymeerikielet, jotka voivat edelleen hajottaa ilman nimenomaista seurantaa, alumiinioksidikeramiikka on immuuni näille päivittäisille palvelusykleille puolijohdeprosessoinnissa. Tämä inertti varmistaa kiekkojen pinnan nolla -saastumisen ja ylläpitää prosessin puhtautta rajoittaen samalla satohäviötä.

Nykypäivän puolijohdevalmistusmaisemassa reunan jauhamisprosessi on monipuolinen: se valmistaa kiekkoa seuraavaa prosessointia varten ja tarjoaa myös turvallisen kuljetuksen, käsittelyn ja integroinnin edistyneimpiin litografia- ja etsaustyökaluihin. Tässä kiekon reunan hioma -istukka on tärkeä pala palapelistä kiekon kiinnittämisestä turvallisesti, pitäen tarkasti, ja se vaikuttaa suoraan kiekkojen luotettavuuteen ja tuotteiden suorituskykyyn. Sijoitumisen myötä alumiinioksidikeraamiseen, aika säästää, kun tällaisen omaisuuden pitkäikäisyys on laajentunut seisokkien rajoittamiseksi, osien kustannusten vähentämiseksi ja laitteiden tehokkuuden maksimoimiseksi (OEE).

Kiekon reunan hioma -istukka valmistettualumiiniohjelmaedustaa kaikkia hienostuneiden materiaalitieteiden ja tarkkuustekniikan etuja. Se on esimerkki kovuuden, kulutuskestävyyden, lämmön stabiilisuuden ja kemiallisen inerttin ominaisuuksista, jotka ovat välttämättömiä puolijohdekiekkojen valmistusprosessiin. Vahva suorituskyky voi johtaa luotettavaan kiekkojen reunan laatuun, hyvään satoon ja pidentyneeseen laitteiden käyttöikään. Puolijohdevalmistajille, jotka ovat sitoutuneet moitteettomaan tarkkuuteen ja tehokkuuteen, alumiinioksidikiekkojen reunan hioma -istukka on ratkaisu.