Teflon -kasettit

Semicorex Teflon -kasetit ovat korkean suorituskyvyn kiekko-kantajia, jotka on erityisesti suunniteltu käytettäväksi vaativissa kemiallisissa ympäristöissä, joissa puhtaus, kemiallinen vastus ja lämpöstabiilisuus ovat välttämättömiä. Näitä kasetteja käytetään korkean puhtaan polytetrafluorietyleenistä (PTFE). Niiden ei-reaktiivinen luonne tekee niistä ihanteellisia herkkien substraattien, kuten piikiekkojen, lasipaneelien ja muiden tarkkuuskomponenttien, käsittelemiseen tuomatta kontaminaatiota tai hiukkasia prosessiin.

Puolijohteiden valmistusprosesseissa, kuten litografia, etsaus ja ionin implantointi, kaseteilla on rooli kiekkojen kuljettamisessa ja siirtämisessä eri laitteiden välillä. Eri prosessilaitteilla voi olla erilaisia kasettien käyttöliittymävaatimuksia varmistaakseen, että kiekkojen kuljettajat voidaan vastaanottaa ja sijoittaa tarkasti.

Materiaalin ja suunnittelun näkökulmasta, lämpöä kestävistä materiaaleista, joilla on erinomaiset mekaaniset ominaisuudet, mitat stabiilisuus ja ovat kestäviä, antisistaattisia, matala kaasua, alhaisia sadetta ja kierrätettäviä. Eri kiekkokoot, prosessisolmut ja prosessit käyttävät erilaisia materiaaleja. Yleiset materiaalit ovat PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP jne.

Teflon -kasettit tarjoavat paremman kemiallisen resistenssin ympäristöissä käyttämällä hydrofluorivetyhappoa, typpihappoa, rikkihappoa ja muita voimakkaita syövyksiä. Toisin kuin tavanomaiset materiaalit, kuten polypropeeni tai ruostumaton teräs, PTFE ei hajoa; ei turvota; Leach ei ole aineita ankarissa kemiallisissa kylpyissä. Siksi suorituskyky taataan pitkien ajanjaksojen aikana ja siten kasettien luotettavuus korkean suorituskyvyn tuotantolinjoille ja erittäin puhdasta ympäristölle. Sen kestävyys tarkoittaa alhaisempia ylläpitotarpeita ja korvaustaajuutta, mikä vähentää pitkäaikaisia käyttökustannuksia.

Teflon -kasettit osoittavat erittäin korkean lämmönvakauden. Ne kestävät helposti lämpötiloja -200 ° C - +260 ° C, jota voidaan soveltaa sekä kryogeenisiin että korkean lämpötilan prosesseihin. Jopa lämmitettyihin kuivauskammioihin tai kylmiin kemiallisiin kylpyihin asetettu kasettit eivät menetä rakenteellista lujuuttaan; Ne eivät vääntyä tai halkeile, varmistaen, että kiekot pysyvät turvallisesti käsittelyn aikana. Tämä lämpötilan kestävyys myötävaikuttaa merkittävästi prosessien hallintaan ja tasaisuuteen, jotka ovat kriittisiä puolijohde- ja MEMS -valmistukseen.

Yhtä tärkeä ominaisuus Teflon-kasetteille on sen inertti, tarttumaton pinta. PTFE ei luonnostaan salli hiukkasten ja kemiallisten tähteiden adsorptiota, mikä vähentää siten saastumisriskiä puhdashuoneessa. Tämä on liitettävä sileälle pintapinnoitteelle, joka mahdollistaa huuhtelun helpon ja kuivauksen nopeasti, siten puhdistusaineiden tulokset ja nopeammat sykli -ajat. Puolijohteiden prosessoinnissa, jossa viat voivat aiheuttaa jopa mikroskooppiset epäpuhtaudet, tämä puhtaus ja kemiallinen inerttitaso on pakollinen.

Jokainen kasetti tehdään tarkasti tiukkaan koon toleransseihin, mikä takaa tasaisen kiekkojen kohdistuksen ja etäisyyden siirtämisen ja nesteen asettamisen aikana. Niiden helposti suunniteltu muoto auttaa nopeaa kemiallista virtausta ja viemäröintiä, mikä nopeuttaa kemiallisia valuuttakursseja ja parantaa puhdistusta tai etsausta yhtenäisyyttä kiekkojen pinnalla.  Kasetteja on saatavana vakiokokoina 4 tuuman, 6 tuuman ja 8 tuuman kiekkojen kanssa, ja räätälöintivaihtoehtoja on käytettävissä sopimaan tiettyihin substraatin mittoihin, peliautomaatteihin ja käsittelyvaatimuksiin.

Teflon -kasetit, jotka on suunniteltu yhteensopivuuteen automatisoitujen märien penkkien ja robotti kiekkojen käsittelyjärjestelmien kanssa, integroituvat helposti useimpiin puolijohteiden tuotantoasetuksiin. Heidän vankka rakennus- ja puhdashuoneiden viimeistely vastaavat ISO-sertifioidun ympäristön tiukat vaatimukset. Kaikki kasetit tarkistavat perusteellisen tarkastuksen ja ne on esiasetettu erittäin puhtaassa vedessä vastaamaan edistyneen mikroelektroniikan tuotantoon tarvittavia puhtausstandardeja. Vaatimustenmukaisuuden ja täydellisen materiaalien jäljitettävyyden todistukset voidaan antaa laadunvarmistusprotokollien noudattamisen varmistamiseksi.