TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori

Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor on keskeinen komponentti, jota käytetään metalliorgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoitusuuneissa (MOCVD) puolijohteiden epitaksiaalisessa (epi) käsittelyssä. Tämä erikoistunut pyöreä suskeptori on valmistettu korkealaatuisesta grafiittimateriaalista ja siinä on ainutlaatuinen tantaalikarbidi (TaC) -pinnoite.

TaC-pinnoitteen ensisijainen tarkoitus on parantaa TaC Coated Wafer Susceptorin suorituskykyä ja kestävyyttä puolijohteiden valmistusprosessien vaativissa olosuhteissa. Tantaalikarbidi tunnetaan poikkeuksellisesta kovuudestaan, korkeasta sulamispisteestään sekä kulutus- ja korroosionkestävyydestään. Nämä ominaisuudet tekevät TaC Coated Wafer Susceptorista ihanteellisen valinnan suojaamaan alla olevaa grafiittisuskeptoria kemiallisilta reaktioilta ja fyysisiltä rasituksilta, joita esiintyy MOCVD-uunissa.

TaC Coated Wafer Susceptorilla on keskeinen rooli puolijohdemateriaalien epitaksiaalisessa kasvussa helpottamalla ohuiden kalvojen kerrostumista kiekkoille. Sen kyky kestää korkeita lämpötiloja ja ankaria kemiallisia ympäristöjä on ratkaisevan tärkeä puolijohdelaitteiden tarkan ja luotettavan valmistuksen saavuttamiseksi.

TaC Coated Wafer Susceptor grafiittiytimellään ja tantaalikarbidipinnoitteella varmistaa tasaisen ja tasaisen lämmön jakautumisen, mikä edistää MOCVD-prosessin aikana kasvaneiden puolijohdekerrosten toistettavuutta ja laatua. Tämä edistyksellinen materiaaliyhdistelmä tekee siitä luotettavan ja kestävän ratkaisun puolijohteiden valmistukseen, joka täyttää nykyaikaisen elektroniikkalaitteiden tuotannon tiukat vaatimukset.