TaC-pinnoitettu putki

Semicorex TaC Coated Tube -putken teho on pohjamateriaalin ja erikoispinnoitteen synergistisessä yhdistelmässä:

Erittäin puhdas isotrooppinen grafiittipohja:TaC Coated Tube -putken ydin on valmistettu erittäin puhtaasta isotrooppisesta grafiitista, joka tunnetaan erinomaisesta lämmönjohtavuudestaan, alhaisesta lämpölaajenemisestaan ​​ja luontaisesta lämpöshokin kestävyydestään. Tämä perusta tarjoaa vankan ja vakaan alustan, joka kestää puolijohdekäsittelylle ominaisia ​​nopeita lämpötilanvaihteluita ja suuria lämpökuormia.

Tantaalikarbidi---Kestävyyden ja hitauden suoja:CVD-pinnoitettu TaC-pinnoite muuttaa grafiittisubstraatin antaen poikkeuksellisen kovuuden, kulutuskestävyyden ja kemiallisen inertin. Tämä suojakerros toimii esteenä puolijohteiden valmistuksen aikana kohdattuja aggressiivisia kaasuja, plasmaa ja reaktiivisia lajeja vastaan, mikä varmistaa putken rakenteellisen eheyden ja pitkäikäisyyden.

Tämä ainutlaatuinen materiaaliyhdistelmä merkitsee monia etuja, jotka ovat kriittisiä edistyneen puolijohteiden valmistuksen kannalta:

Verraton lämmönkestävyys:TaC:lla on yksi kaikkien tunnettujen materiaalien korkeimmista sulamispisteistä, ja se ylittää jopa piikarbidin (SiC). Tämän äärimmäisen lämpötilan kestävyyden ansiosta TaC Coated Tube toimii luotettavasti prosesseissa, jotka vaativat yli 2500°C lämpötiloja, mikä mahdollistaa seuraavan sukupolven puolijohdelaitteiden tuotannon vaativilla lämpöbudjeteilla.

Erittäin puhdas kriittisten prosessien hallinta:Koskemattomien prosessiympäristöjen ylläpitäminen on ensiarvoisen tärkeää puolijohteiden valmistuksessa. Erittäin puhtaan grafiitin käyttö ja huolellinen CVD-pinnoitusprosessi varmistavat, että TaC-pinnoitetusta putkesta syntyy mahdollisimman vähän kaasua tai hiukkasia, mikä estää kontaminaatiota, joka voi vaarantaa herkkiä kiekkojen pintoja ja laitteen suorituskykyä.

Järkemätön kemiallinen kestävyys:TaC Coated Tube -putken kemiallinen inertisyys tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden monenlaisia ​​syövyttäviä kaasuja, reaktiivisia ioneja ja plasmaympäristöjä vastaan, joita käytetään yleisesti puolijohdeprosesseissa, kuten syövytyksessä, pinnoituksessa ja hehkutuksessa. Tämä vankka kemiallinen stabiilisuus pidentää putken käyttöikää, vähentää huoltovaatimuksia ja alentaa kokonaiskustannuksia.

Parannettu mekaaninen kestävyys pidentää käyttöikää:TaC-pinnoitteen ja grafiittisubstraatin välinen vahva sidosvoima yhdistettynä TaC-pinnoitetun putken luontaiseen kovuuteen tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden kulumista, eroosiota ja mekaanista rasitusta vastaan. Tämä parannettu kestävyys merkitsee pidempää käyttöikää ja lyhennettyä vaihtoseisokkia, mikä parantaa prosessin tehokkuutta ja suorituskykyä.