TaC-pinnoitettu suskeptori

Grafiittipohjaisesta materiaalista valmistettu Semicorex TaC Coated Susceptor on päällystetty tantaalikarbidilla (TaC) sen suorituskyvyn ja kestävyyden parantamiseksi.

Tantaalikarbidi tarjoaa poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, minkä ansiosta TaC Coated Susceptor kestää äärimmäisen korkeita lämpötiloja, joita usein kohdataan prosesseissa, kuten kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja fyysinen höyrypinnoitus (PVD). Ja TaC-pinnoite tarjoaa erinomaisen kestävyyden kemiallisia reaktioita, hapettumista ja korroosiota vastaan, mikä on ratkaisevan tärkeää eheyden ja suorituskyvyn säilyttämiseksi ankarissa kemiallisissa ympäristöissä.

TaC Coated Susceptorin tasaiset ja vakaat lämpöominaisuudet parantavat niiden prosessien yhtenäisyyttä ja laatua, joissa niitä käytetään, mikä johtaa parempaan tuottoon ja tehokkuuteen puolijohteiden valmistuksessa.

Samaan aikaan TaC:n käyttö TaC Coated Susceptorissa minimoi kontaminaatioriskin puolijohdeprosesseissa, mikä on kriittistä erittäin puhtaiden ja virheettömien elektronisten komponenttien valmistuksessa.

TaC-päällystetyn suskeptorin sovellukset:

Puolijohdevalmistus: Käytetään CVD- ja PVD-prosesseissa ohuiden kalvojen ja epitaksiaalisten kerrosten kerrostamiseen puolijohdelevyille.

LED-tuotanto: Käytetään valoa emittoivien diodien (LED) tuotannossa, missä vaaditaan tarkat ja vakaat lämpöolosuhteet.

Aurinkokennojen valmistus: Käytetään aurinkokennojen valmistuksessa tehokkuuden ja luotettavuuden parantamiseksi.

Semicorex TaC -pinnoitetut suskeptorit ovat kriittisiä edistyneissä valmistusprosesseissa, joissa vaaditaan korkeaa lämpöstabiilisuutta, kemiallista kestävyyttä ja kestävyyttä. Niiden käyttö takaa paremman suorituskyvyn, pitkäikäisyyden ja tuotteiden laadun korkean teknologian aloilla.