SiC Epitaxy

Semicorex tarjoaa mukautetun ohutkalvon (piikarbidin) piikarbidiepitaksia substraateille piikarbidilaitteiden kehittämiseen.

SiC epitaksia voidaan räätälöidä vastaamaan tiettyjä laitevaatimuksia sisällyttämällä lisäaineita tai kasvattamalla erilaisia ​​kidesuuntauksia. Epitaksiaalikerroksen seostus epäpuhtauksilla, kuten typellä tai alumiinilla, mahdollistaa sähköisten ominaisuuksien muuttamisen, kuten kantoainepitoisuuden säätelyn tai p-n-liitosten luomisen.

SiC epitaksiaalikerroksen laatua arvioidaan erilaisilla karakterisointitekniikoilla, kuten röntgendiffraktiolla, pyyhkäisyelektronimikroskoopilla, atomivoimamikroskopialla ja sähkömittauksilla. Nämä tekniikat auttavat arvioimaan epitaksiaalikerroksen kiderakennetta, pinnan morfologiaa ja sähköistä suorituskykyä.

Semicorex voi tarjota: SiC-epitaksiaaliset kiekot, GaN-epitaksikiekot, Si-epitaksikiekot, SiC-kiekot jne.