Puolijohdeluokan kvartsidiffuusioputket

Semicorex-puolijohdelaatuiset kvartsidiffuusioputket ovat olennaisia kvartsikomponentteja, joiden tarkoituksena on tarjota puhdas ja vakaa reaktiotila puolijohdekiekkojen valmistukseen. Semicorexilla on laajat ja todistetut valmistusominaisuudet, ja se voi tarjota arvostetuille asiakkaillemme erittäin yhteensopivia, mittatilaustyönä suunniteltuja puolijohdelaatuisia kvartsidiffuusioputkia.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Kvartsiveneetkäytetään yleensä korkeissa lämpötiloissa, ankarissa kemiallisissa korroosiokäyttöolosuhteissa. Toimenpiteen aikana puolijohdekiekot asetetaan kvartsiveneeseen ja työnnetään kvartsidiffuusioputkeen. Kun diffuusioputki saavuttaa vaaditun lämpötilan (muutamista sadaista useisiin tuhansiin celsiusasteisiin), prosessikaasuja (esim. O2, N2, H2, Ar) ja lisäainekaasuja (esim. POCl3, BBr3) johdetaan kvartsidiffuusioputkeen kaasuaukkojen kautta, jolloin diffuusio ja hapetus suoritetaan. Lisäksi diffuusion tasaisuuden ja tarkkuuden parantamiseksi jotkin diffuusioprosessit on suoritettava matalapaineisessa ympäristössä.

Kehittyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa mikä tahansa pieni virhe tai puute näissä prosesseissa voi johtaa myöhempien prosessien epäonnistumiseen. Siksi kvartsidiffuusioputkien laatu on puolijohdevalmistuksen keskeisinä osina erittäin tärkeä ja vaikuttaa suoraan puolijohdelaitteiden tuottoon ja suorituskykyyn.

Semicorexin tekniset tiedot Puolijohdeluokan kvartsi

Semicorex-puolijohdeluokan kvartsidiffuusioputket on valmistettu huolellisesti korkealaatuisistapuolijohdeluokan kvartsiamateriaalia. Seuraavat ovat sen erityiset parametrit:

Parametrit voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.

Semicorex Semiconductor-Grade kvartsidiffuusioputkien suorituskyky

Luotamme kokeneeseen käsittelytekniikkaamme ja luotettavaan materiaalivalikoimaamme, Semicorex-puolijohdelaatuakvartsi diffuusioputketosoittaa ylivoimaista suorituskykyä haastavissa käyttöolosuhteissa:

1. Korkean lämpötilan kestävyys

Semicorex-puolijohdeluokan kvartsidiffuusioputket tarjoavat huomattavan korkeiden lämpötilojen kestävyyden, mikä mahdollistaa niiden toiminnan vakaasti korkeissa lämpötiloissa jopa 1200 ℃ ilman muodonmuutoksia tai vaurioita.

2. Lämpövakauden suorituskyky

Poikkeuksellisen lämpölaajenemiskertoimen ansiosta Semicorex-puolijohdeluokan kvartsidiffuusioputket kestävät lämpörasitusta nopean kuumennuksen tai jäähtymisen aikana ilman, että ne halkeilevat tai muuttavat muotoaan helposti.

3. Kemiallinen kestävyys

Semicorex-puolijohdeluokan kvartsidiffuusioputket tarjoavat erinomaisen kemiallisen inerttiyden korkeissa lämpötiloissa, ankarissa syövyttävissä ympäristöissä. Tämä suorituskyky estää suuresti niiden reaktiossa prosessikaasujen kanssa syntyviä epäpuhtauksia vaikuttamasta kiekkojen laatuun.