Kvartsi nestemäinen varastosäiliö

Semicorex-kvartsin nestemäinen varastosäiliö on tarkoitukseen rakennettu säiliö puolijohde märkä puhtaille sovelluksille, joissa nesteenkäsittely vaatii poikkeuksellisen puhtauden ja materiaalien stabiilisuuden. Ensisijaisesti tätä säiliötä käytetään jätteiden tai jäännösnesteiden keräämiseen kiekkojen puhdistussovelluksista. Se on korvaamaton prosessien tuottavuudelle ja saastumisen hallintaan. Märän puhtaan prosessin aikana puolijohde kiekkojen huuhtelu sisältää suuria määriä ultrapiurista vettä tai kemiallisia reagensseja, jotka tulevat jätteen nestettä huuhtelun lopussa. Lisäksi jäännösneste huuhtelun jälkeen on kerättävä, koska sillä on potentiaalisia hivenaineita tai arvokkaita kemiallisia ainesosia, jotka eivät saa mennä viemäriin. Jätteen neste on myös kerättävä, kun pinnoitusvaiheet suoritetaan, kuten valoresistisovellukset, joissa on kerättävä ylimääräisiä jäännöksiä tai jätteiden kemikaalia. Siten kvartsin nestemäisissä varastosäiliöissä on täydelliset toimitukset korkean puhtauden, kemiallisen yhteensopivuuden ja alhaisten epäpuhtauksien ominaisuuksien aikaansaamiseksi.

Säiliö on valmistettu erittäin puhtaasta sulatetusta kvartsista, joka on erittäin kestävä vahvoille hapoille, alkalille ja liuottimille, joita käytetään säännöllisesti puolijohdekappaleen puhdistuksessa ja litografiassa. Riippumatta siitä, onko tavanomainen säiliö, kvartsi antaa kappaleille nestemäisen materiaalin parhaat mahdollisuudet toissijaiseen epäpuhtauksiin, huuhtoutumiseen tai ei -toivottuun ionialtistukseen. Yksi kvartsin nestemäisen varastosäiliön johtavista näkökohdista on kyky tukea analyyttisiä työnkulkuja puolijohde -FABS: ssä, koska kvartsiastiassa kerättyjä jäännösnesteitä voidaan käyttää alavirran prosesseissa, kuten epäpuhtauksien havaitseminen, kontaminaatioanalyysi ja kemiallinen kierrätys. Kvartsin ominaisuuksien suhteen se voi turvallisesti sisältää jäännösnesteet ja mahdollistaa visuaalisen arvioinnin ilman vuorovaikutuksen riskiä ottaen huomioon sen inertti ja läpinäkyvyys sen lämpöstabiilisuuden lisäksi, mikä mahdollistaa säiliön nesteen nesteen kiihtymisen lievästi. Kvartsi-nestemäinen varastosäiliö on kuitenkin suunniteltu sekä jätteiden keräämiseen että lyhytaikaiseen varastointiin ennen niiden siirtämistä tai käsiteltäviä.

Jokaisella prosessin saastumisen hallintaohjaimien yksityiskohdilla on merkitystä, etenkin kun edistyneiden laitteen valmistussolmut kutistuvat ja puhtausparametrit tulevat tiukemmaksi. Kvartsi -nestemäinen varastosäiliö takaa, että Fab -operaattorit ovat vakuuttuneita siitä, että jätehuollosta ei tule toissijaisen saastumisen lähde. Sisällyttämällä jäännöspuhdistusliuokset tai ylimääräiset prosessinesteet, se estää ylävirran ja alavirran työnkulkujen voimassaolon. Lisäksi säiliö tukee FAB: n kestävän kehityksen tavoitteita, koska kerättyjä nesteitä voidaan prosessoida reagenssin puhdistamiseksi ja uudelleenkäyttöä varten käyttämällä siten toista vähemmän kemiallista intensiivistä prosessia ja johtaen vähemmän ympäristökuormitukseen.

Käytännöllisestä näkökulmasta kvartsin nestemäisen varastosäiliön suunnittelu mahdollistaa sen helposti sisällyttämisen märkäpuhdistuslaitteisiin ja kemiallisten hallintajärjestelmiin. Muotokerroin voidaan räätälöidä olemassa oleviin työkalukokoonpanoihin. Tarkkuusvalmistusmenetelmät varmistavat pyöreät mitat ja että sileä sisäpinta kuljettaa ja varastoi helposti kaikki nesteet puolijohde -FAB -ympäristöön. Ei-huokoinen kvartsirakenne estää epäpuhtauksien imeytymisen ja sallii säiliön puhdistuksen, mikä pystyy uudelleenkäyttöön, toisin kuin tavanomaiset muovisäiliöt, jotka toimivat kemiallisissa kontrolloiduissa ympäristöissä merkittävissä tilavuusoperaatioissa.

Tärkeintä, kvartsin nestemäinen varastosäiliö on suunniteltu erityisesti tärkeiksi kaikissa puolijohteiden märkäpuhdistus- ja pinnoitesovelluksissa. Luomalla parhaan mahdollisen materiaalin puhtauden, kemiallisen resistenssin ja saastumisen vapaan nesteen varastoinnin puolijohdetoiminnossa, FABS pystyy hallitsemaan prosessiaan tehokkaasti saastumisen avulla. Riippumatta siitä, käyttääkö FAB -säiliötä suoran jätteiden keräämisen vastaanottamiseen, reagenssin talteenottoon jne. Tai epäpuhtausanalyysiin, prosessin kriittisten vaiheiden historia pysyy alkuperäisessä tilassa vaarantamatta toimintaa. Kun haluat maksimoida saannon, minimoi työprosessisi riski vakauden menetykseen ja maksimoi sivutuotteiden kemiallisen hoidon tehokkuus, saastuminen ilmainen kvartsi on ainoa valinta, joka tarjoaa luotettavan suorituskyvyn kaikella märällä puhdistuksellasi.