Kvartsiuunin putki

Semicorex-kvartsiuuniputki, kiekkoveneet, kvartsiupokkaat piin yksikidekasvatusta varten ovat kaikki valmistettu erittäin puhtaistakvartsi materiaalial. Kvartsia käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa, erittäin puhdas kvartsi on tärkeä kulutustavara kiekkojen valmistuksessa. Kvartsiosien pääasiallinen kohdemarkkina puolijohdealalla on diffuusio- ja etsausprosessi kiekkojen valmistuksessa, ja ne voidaan jakaa kahteen pääluokkaan: korkean lämpötilan osat ja matalan lämpötilan osat.

1. Korkean lämpötilan osat ovat kvartsiuunin putki, kiekkovene, veneen pidike jne. Niiden on oltava suoraan tai epäsuorasti kosketuksissa piikiekkojen kanssa korkean lämpötilan ympäristössä, ja ne on valmistettu pääasiassa sulatetusta kvartsilasimateriaalista, joka on valmistettu lämpökäsittelyllä.

2. Matalalämpötilaiset osat ovat kvartsirenkaita etsausprosessissa, mukaan lukien kasetit, puhdistussäiliöt puhdistusprosessissa. Niitä käytetään pääasiassa matalan lämpötilan ympäristöissä, jotka on valmistettu pääasiassa sulatetusta kvartsilasista, joka on valmistettu kylmäkäsittelyllä.

Korkean lämpötilan vyöhykkeen komponentit kuluvat nopeammin, mutta niitä käytetään tyypillisesti monikiekkojärjestelmissä (yhdellä alustalla on useita piikiekkoja), kun taas matalan lämpötilan vyöhykkeen komponentit kuluvat hitaammin, mutta niitä käytetään yhden kiekon järjestelmissä (yksi kantoaine sisältää yhden piikiekon); siksi molempien markkinoiden kokonaiskoko on suhteellisen samanlainen.

Uuni on alue, jossa kiekot käyvät läpi korkean lämpötilan kuumennusprosessin, joka koostuu kvartsiuuniputkesta, reaktorista ja useista lämmittimistä, sitä käytetään laajalti diffuusio-, hapetus- ja RTP-prosesseissa puolijohdekäsittelyssä. Uuni on jaettu pääasiassa vaaka- ja pystysuuntaisiin tyyppeihin:. Vaakasuuntaisessa uunissa kiekot asetetaan kvartsiveneen päälle, joka puolestaan ​​asetetaan piikarbidin alustalle. Edessä ja takana on myös mukautuvat ohjauslevyt. Kantoaine työnnetään kvartsiuunin putkeen, ja kiekot käyvät läpi reaktion vakiolämpötilavyöhykkeellä. Pystysuorassa uunissa kiekot asetetaan kvartsitornille ja nostetaan sitten hitaasti kvartsiuunin putkeen käsittelyä varten.

Edellä mainittuihin prosesseihin liittyvien korkeiden lämpötilojen vuoksi kvartsiuuniputken vakavan muodonmuutoksen ja romahtamisen estämiseksi toistuvan ja pitkäaikaisen käytön jälkeen tuotannon aikana tulisi käyttää kvartsiuuniputkea, joka kestää muodonmuutoksia ja romahdusta ja jolla on pitkä käyttöikä.

Tässä ovat edutkvartsiuunin putki:

1. Korkean lämpötilan kestävyys. Kvartsilasin pehmenemispiste on noin 1730 ℃ ja sitä voidaan käyttää pitkiä aikoja 1150 ℃ lämpötilassa, lyhytaikaisen maksimilämpötilan ollessa 1450 ℃.

2. Korroosionkestävyys. Fluorivetyhappoa lukuun ottamatta erittäin puhdas kvartsi reagoi tuskin kemiallisesti muiden happamien aineiden kanssa. Korkeissa lämpötiloissa se kestää rikkihapon, typpihapon, suolahapon, aqua regian, neutraalien suolojen, hiilen ja rikin aiheuttamaa korroosiota. Sen haponkestävyys on 30 kertaa keramiikka ja 150 kertaa ruostumaton teräs.  Sen kemiallinen stabiilisuus erityisesti korkeissa lämpötiloissa on vertaansa vailla minkään muun teknisen materiaalin kanssa.

3. Hyvä lämmönkestävyys. Erittäin puhtaalla kvartsilla on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin ja se kestää rajuja lämpötilan muutoksia.  Erittäin puhtaan kvartsin kuumentaminen noin 1100 ℃:seen ja sen sitten upottaminen huoneenlämpöiseen veteen ei aiheuta sen särkymistä.

4. Hyvä valonläpäisykyky. Erittäin puhtaalla kvartsilla on hyvä valonläpäisykyky koko spektrillä ultraviolettisäteilystä infrapunaan. Näkyvän valon läpäisevyys on yli 93 % ja ultraviolettispektrissä maksimiläpäisevyys voi olla yli 80 %.

5. Hyvä sähköeristyskyky. Erittäin puhtaan kvartsin ominaisvastus on kymmenentuhatta kertaa tavalliseen kvartsilasiin verrattuna, joten se on erinomainen sähköeristysmateriaali, jolla on hyvät sähköiset ominaisuudet jopa korkeissa lämpötiloissa.