PFA -kiekko -operaattorit

Semicorex PFAKiekko -operaattoritovat korkean suorituskyvyn kantajia, jotka on suunniteltu puolijohteiden kiekkojen turvalliseen käsittelyyn, varastointiin ja kuljetukseen erittäin puhdasta ympäristössä. Edistyneiden puolijohteiden valmistus varmistaa, että PFA -kiekkojen kantajat tarjoavat vertaansa vailla olevaa kemiallista resistanssia, lämpöstabiilisuutta ja hiukkasten hallintaa kiekkojen eheydestä ja puhtaudesta valmistuksen aikana lopulliseen testaukseen.

Uudesta PFA: sta valmistettu näillä kiekkojen kantajilla on suuri vastus koville kemikaaleille, kuten vahvoille hapoille, emäksille ja liuottimille, joita yleensä käytetään puhdistuksessa ja etsauskiekkoissa. PFA: n erittäin matala ionin huuhtoutumis- ja kaasustavat ominaisuudet tekevät siitä tärkeiden puhdashuoneiden tehtävien edullisen materiaalin, jossa jopa pienet määrät epäpuhtauksia voivat vaikuttaa laitteen satoihin.

PFA -kiekkojen kantolaitteet valmistetaan puhtaissa huoneissa ja työskentelevät luokan 1 (ISO -luokan 3) puhtaan huoneen standardien kanssa. PFA: n sileä, tarttumaton pinta minimoi hiukkasten muodostumisen ja tarttuvuuden, estäen jäännösten tai hiukkasten saastumisen. Lisäksi PFA: n hydrofobinen luonne helpottaa perusteellista huuhtelua ja nopeaa kuivumista vähentäen edelleen ristikontaminaation riskiä märän prosessointivaiheiden aikana.

Jokainen PFA -kiekko -kantaja on tarkkaan valmistettu varmistamaan, että kiekkojen turvallinen ja jopa tuki liikkumisen ja pitämisen aikana. Uritetut lähtö- ja saapumisajat auttavat kiekkoja pienellä kosketuksella, vähentämällä stressiä ja hakeutumista kiekkojen reunoille. Kuljettajia on monia muotoja, jotka sopivat erikokoisiin kiekkoihin, joihin sisältyy 100 mm, 150 mm, 200 mm ja 300 mm: n halkaisijat. Valinnaiset topit ja tiukka lukitustavat antavat ylimääräistä turvallisuutta iskuihin tuotteille, värähtelylle ja ympäristölle altistumiselle.

PFA: n erinomaisen lämpövastuksen vuoksi jopa 260 ° C: seen, se on yhteensopiva korkean lämpötilan prosessien, kuten diffuusion, hapettumisen ja kemiallisen höyryn laskeutumisen CVD, kanssa. Kantaja säilyttää rakenteellisen eheytensä toistuvan lämpöpyöräilyn alla ja soveltuu siksi sekä erä- että automatisoituihin prosessointiympäristöihin.

PFA-kiekkojen kantolaitteilla on laajat sovellukset kiekkojen puhdistuksessa, märässä etsauksessa, fotolitografiassa CMP ja muissa IC-valmistuksessa olevissa käyttöliittymä- ja taustaprosesseissa. Heidän vankka suunnittelu ja puhtaus tekevät niistä ihanteellisia käytettäväksi FABS-, T & K -laboratorioissa ja OEM -laitteissa, jotka vaativat tiukkoja saastumisen hallintaprotokollia.

RäätälöityPFA -kiekko -operaattoritVoidaan kehittää vastaamaan erityisiä automaatiovaatimuksia, mukaan lukien robottikäsittely, ratajärjestelmät ja pystysuora/vaakakuljetus. Kantajat ovat täysin yhteensopivia tavanomaisten kiekkojen käsittelylaitteiden ja puolijohteiden valmistustyökalujen kanssa.