PECVD aurinkografiittivene

SemicorexPECVD aurinkografiittiveneetovat tarkasti valmistettuja erittäin puhtaistaisostaattinen grafiitti. Jokainen Semicorexin PECVD aurinkografiittivene käy läpi tarkan koneistuksen, mittatarkastuksen ja sähköisen suorituskyvyn testauksen, jotta varmistetaan vakaa suorituskyky korkean lämpötilan plasmaympäristöissä.

PECVD-käsittelyn aikana PECVD-aurinkografiittivene kuljettaa piikiekkoja PECVD-reaktiokammioon ja toimii RF-virtalähteeseen kytkettynä elektrodina. Kun vierekkäisten venelevyjen väliin syötetään vaihtojännite, syntyy sähkökenttä. Sähkökentän vaikutuksesta reaktiiviset kaasut (kuten silaani SiH4 ja ammoniakki NH3) läpikäyvät hehkupurkauksen ja muodostavat plasmaa. Plasman ionit ja vapaat radikaalit hajottavat esiastekaasuja muodostaen pii- (Si) ja typpi- (N) ioneja. Nämä ionit yhdistyvät muodostaen piinitridi (Si3N4) -molekyylejä, jotka kerrostuvat sitten piikiekon pinnalle ohuiden kalvojen muodostamiseksi.

1. Poikkeuksellinen lämmönkestävyys

Semicorx, jonka lämpölaajenemiskerroin on lähellä piikiekkojen lämpölaajenemiskerrointaPECVD aurinkografiittivenekokee mitätöntä mittamuutosta kuumennettaessa, mikä välttää luotettavasti lämpörasituksen aiheuttamat vauriot kiekoissa.

2. Ylivoimainen sähkön- ja lämmönjohtavuus

Semicorex PECVD aurinkografiittiveneillä on erinomainen sähkönjohtavuus, mikä varmistaa RF-virran nopean johtumisen ja tasaisen sähkökentän jakautumisen, mikä on hyödyllistä vakaalle plasman muodostukselle ja tasaiselle piikiekkojen kerrostumiselle. Lisäksi sen ylivoimainen lämmönjohtavuus helpottaa nopeaa jäähdytystä ja lämmitystä, mikä parantaa tuotannon tehokkuutta ja estää paikallista ylikuumenemista vaikuttamasta kerrostuksen laatuun.

3. Vahva kemiallinen stabiilisuus

Korkealaatuisen materiaalin käytön ansiosta Semicorex PECVD aurinkografiittivene on vähemmän altis reaktiolle reaktiivisten kaasujen ja plasman kanssa. Tämä ominaisuus estää merkittävästi korroosion, muodonmuutosten tai epäpuhtauksien kertymisen aiheuttaman sähkökentän epätasaisen jakautumisen grafiittiveneessä ja varmistaa siten pinnoitusprosessin vakauden ja piikiekkojen pinnan laadun.

4. Erinomainen mekaaninen lujuus

Erinomaisella mekaanisella lujuudellaan Semicorex PECVD aurinkografiittivene kestää näppärästi suuria kiekkokuormia. Ne kestävät kuormauksen ja kuljetuksen aikana syntyvän mekaanisen rasituksen pitkään ilman, että ne muodostuvat tai rikkoutuvat helposti.

5. Erinomainen mittayhteensopivuus

Semicorex PECVD aurinkografiittivene saavuttaa poikkeuksellisen mittatarkkuuden kaikissa komponenteissa tarkkuustyöstöllä. Se pitää piikiekon kiinteässä asennossa pinnoituksen aikana, mikä varmistaa tasaisen pinnoituksen ja yhteensopivuuden automatisoidun tuotannon kanssa.