PBN -lämmitin

Semicorex-pyrolyyttinen boorinitridi PBN-lämmitin on erittäin puhtaana, korkean suorituskyvyn lämmityskomponentti, joka on suunniteltu vaativiin sovelluksiin, joissa erittäin puhdas, kemiallisesti stabiilit ja lämpötehokkaat materiaalit ovat välttämättömiä. Kemiallisen höyryn laskeutumisprosessin (CVD) prosessin avulla PBN: llä on poikkeuksellinen lämmönjohtavuus, korkean lämpötilan resistenssi ja erinomainen kemiallinen inertti, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan puolijohdeprosessointiin, kidekasvuun ja tyhjiösovelluksiin.

PBN-lämmitin on lämmitin, joka käyttää erittäin eristävää PBN: tä substraattina ja käyttää matalapaineisen lämpöhajoamisen kemiallista höyryn laskeutumista (CVD) johtavan PG: n päällystämiseen matalapaineessa (alle 10torr) ja korkean lämpötilan. Tämän komposiittilämmittimen pääkomponentit ovat pyrolyyttinen boorinitridi (PBN) ja pyrolyyttinen grafiitti (PG). Erinomaisen korroosionkestävyyden ja korkean lämpötilankestävyyden vuoksi sitä käytetään pääasiassa puolijohdesubstraatin lämmitykseen (käytetään MBE: ssä, MOCVD: ssä, ruiskutuspinnoitteessa jne.); Suprajohteiden substraatin lämmitys; Näytteen lämmitys näytteen analyysin aikana; elektronimikroskooppinäytteen lämmitys; metallilämmitys; metallin haihtumislämmityslähde jne.

PBN on inertti syövyttäviin kaasuihin; on korkea puhtaus (yli 99,99%); ei märkä tai reagoi useimpien sulan metallien kanssa (sillä on tarttumattoman pannun ominaisuudet ja metallia voidaan käyttää 100%); on hyvä korkea lämpötilankestävyys (suurin käyttölämpötila on 2000 ℃); hyvä tiheys; Hyvä lämpöiskunkestävyys ja muut erinomaiset ominaisuudet tekevät siitä ihanteellisen materiaalin PBN-PG-komposiittilämmittimien valmistukseen. PG voidaan lämmittää nopeasti arvoon 1600 ℃ (inertissä ilmakehässä ja tyhjiössä) PBN -lämmittimessä. Samanaikaisesti yhdistettynä PBN: n hyvään lämmönjohtavuuteen lämmityspinnalla on hyvä lämmön tasaisuus. Liittyvän teollisuuden nopean kehityksen myötä myös PBN-PG-komposiittilämmittimien kysyntä on lisääntynyt nopeasti.

PBN -lämmittimet voidaan valmistaa monissa muodoissa ja kokoonpanoissa vastaamaan erityisiä suunnittelu- ja integraatiovaatimuksia. Tyypillisiä malleja ovat tasomaiset lämmittimet, putkimaiset lämmittimet ja mukautetut geometriat, joissa on sulautettuja tai pintaan kiinnitettyjä lämmityselementtejä. Lämmityselementit on yleensä valmistettu pyrolyyttisestä grafiitista (PG) ja kapseloitu PBN: ään, mikä tarjoaa täysin suljetun, sähköisesti eristävän ja lämpötehokkaan rakenteen.