PBN sähköstaattinen istukka

Materiaalin ominaisuudetPBNSähköstaattinen istukka

Korkean lämpötilan kestävyys ja dielektrinen lujuus

ThePBNSähköstaattinen istukka tunnetaan poikkeuksellisesta korkeiden lämpötilojen kestävyydestään, joka on keskeinen puolijohteiden valmistusprosessissa. Istukan valmistuksessa käytetyn pyrolyyttisen boorinitridin (PBN) resistiivisyys on korkeampi kuin yleisimmin käytetyn keramiikka, mikä on ratkaisevan tärkeää Johnsen-Rahbekin (J-R) istukan voiman ylläpitämisessä 1050 °C:n lämpötiloihin asti. Tämä korkea resistiivisyys yhdistettynä sen korkeaan dielektriseen lujuuteen varmistaa, että sähkön katkeaminen estetään tehokkaasti jopa kovassa kuumuudessa, mikä parantaa istukan toimintavarmuutta.

Terminen tasaisuus ja iskunkestävyys

PBN:n kuusikulmainen hilarakenne, joka on valmistettu kemiallisella höyrysaostuksella yli 1500 °C:n lämpötiloissa, edistää sen erinomaista lämpötasaisuutta ja iskunkestoa. Suuritiheyksiset lämmityselementit sisälläPBNSähköstaattinen istukka mahdollistaa tasaisen kiekon lämpöprofiilin ja hyvän tasaisuuden 1,1–1,5 % lämpötiloissa 600–800 °C. Lisäksi PBN-pohjainen istukka osoittaa huomattavaa lämpöiskun kestävyyttä ja alhaisempaa lämpömassaa, mikä mahdollistaa sen saavuttamisen 600 °C:n nopealla nousunopeudella 23 °C/s ilman halkeilun tai delaminoitumisen riskiä.

Mukautettava monivyöhykelämmitys

PBN:n sähköstaattinen istukka on erittäin muokattavissa, ja siinä on monivyöhykelämmitysominaisuudet, jotka mahdollistavat maksimaalisen lämpötilan hallinnan. Tämä räätälöintitaso varmistaa, että jokainen istukka voidaan räätälöidä vastaamaan yksittäisten asiakkaiden erityisvaatimuksia, mikä tarjoaa joustavan ratkaisun erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin.

SovelluksetPBNSähköstaattinen istukka

Ioni-istutus ja kiekkojen käsittely

PBN-sähköstaattinen istukka on suositeltu kiekkojen käsittelylaite ioni-istutusprosesseissa. Sen kyky pitää kiekkoja yli 1000°C lämpötiloissa tekee siitä yhden markkinoiden monipuolisimmista sähköstaattisista istukista. Tätä monipuolisuutta parantaa entisestään sen kyky säilyttää kiekot erittäin tiukoilla lämpötila-alueilla tiheiden, monivyöhykkeiden lämmityselementtien ansiosta.

Piikarbidi-ioni-istutus

SiC-ioni-implantaation erityissovelluksessaPBNSähköstaattinen istukka tarjoaa käyttökelpoisen ratkaisun kiekkojen lämmityksen ja käsittelyn haasteisiin. Sen kaksitoimintoiset ominaisuudet, joihin kuuluu suuri istukkavoima, suuri kuumennusteho, hyvä lämpötasaisuus ja nopea vaste, tekevät siitä ihanteellisen valinnan piikarbidi-ioni-istutuksen monimutkaisiin vaatimuksiin.

Puolijohteiden valmistus

Sähköstaattinen PBN-istukka on tärkeä rooli puolijohteiden valmistuksessa, jossa tarkka kiekkojen käsittely ja lämpötilan säätö ovat välttämättömiä. Sen korkea lämpöiskunkestävyys ja nopeat lämpötilan nousuominaisuudet tekevät siitä sopivan edistyneisiin puolijohdeprosesseihin, jotka vaativat tiukkaa lämpötilan hallintaa ja nopeaa lämpökiertoa.