PBN -upotukset

Semicorex-pyrolyyttiset boorinitridi-PBN-upokkaat ovat tarkkuus suunnitellut komponentit, jotka on suunniteltu vastaamaan korkean lämpötilan ja erittäin puhtaiden prosessien tiukkoihin vaatimuksiin teollisuudenaloilla, kuten puolijohteiden valmistuksella, kristallin kasvulla ja tyhjösovelluksilla. Kemiallisen höyryn laskeutumisprosessin (CVD) kautta valmistettu PBN -upokkaat tarjoavat paremman puhtauden, poikkeuksellisen lämmön stabiilisuuden ja erinomaisen kemiallisen inerttisyyden, mikä tekee niistä valittujen materiaalien edistyneessä materiaalitekniikassa.

Koska boorinitridi on lämpölaajennuskerroin, joka on verrattavissa kvartsiin, mutta sen lämmönjohtavuus on 10 -kertainen jälkimmäinen, sillä on erinomainen lämpö iskunkestävyys, joka voi vähentää murtumisriskiä nopeasta lämpötilan muutoksista johtuen ja voidaan pyöräillä useita kertoja 20 ~ 1200 ℃ ilman mitään ongelmia. Lisäksi boorinitridi ei reagoi happojen, emäksen, lasin ja useimpien metallien kanssa, ja sillä on alhainen mekaaninen lujuus, vain hiukan korkeampi kuin grafiitti, mutta se ei pehmennä kuormituksen alaisena korkeissa lämpötiloissa, ja sen voidaan käsitellä yleisillä metallinkäsittelykoneilla. Siksi se on todella sopiva käytettäväksi upokkaana, astiana, nestemäisen metallin jakeluputkena ja homeen valun muotina metallien sulamiseen ja haihtumiseen.

Se tehdään yleensä kemiallisella höyryn laskeutumisella käyttämällä booria sisäistä kaasua (BCL3 tai B2H6) raaka-aineena, mutta koska B2H6 on erittäin myrkyllinen, BCL3: ta käytetään tällä hetkellä raaka-aineena. Booria sisältävä kaasu käy läpi pyrolyysin (1500 ~ 1800 ℃) ja reagoi NH3: n kanssa korkean lämpötilan reaktiokammiossa muodostaakseen kiinteän boorinitridin. Koska pyrolyysi tapahtuu reaktion aikana, sitä kutsutaan myöspyrolyyttinen boorinitrideUpokas (tunnetaan yleisesti nimellä PBN -upokkaat).

Materiaalin kasvuprosessi on samanlainen kuin "putoava lumi", toisin sanoen reaktiossa kasvatetut kuusikulmaiset BN -lumihiutaleet kasataan jatkuvasti lämmitetylle grafiittisubstraatille (ydinmuotti). Ajan myötä kertymiskerros paksenee muodostaen PBN -kuoren. Demolding on itsenäinen, puhdas PBN -komponentti, ja PBN -pinnoite jätetään siihen. Koska PBN -upokkaiden ei tarvitse käydä läpi perinteistä kuumaa puristavaa sintrausprosessia, eikä sen tarvitse lisätä sintrausainetta, sillä on erittäin korkea puhtaus (yli 99,99%) ja tyhjiön käyttölämpötila on yhtä korkea kuin 1800 degrees, ja käyttölämpötila ilmakehän suojaamisessa voi nousta 2100 ° C: seen (yleensä nitrogeeni tai aroninen). Sitä käytetään enimmäkseen haihtumis-/molekyylisäteen epitaksissa (MBE)/GAA: n kidekasvulla ja muissa tarkoituksissa.