PBN -yhdistelmärämmittimet

Semicorex PBN -komposiittilämmittimet yhdistävät pyrolyyttisen grafiitin erinomaisen lämmönjohtavuuden pyrolyyttisen boorinitridin kemiallisella inerttillä ja sähköisellä eristyksellä. Nämä lämmittimet on rakennettu erittäin korkeasta puhtaasta grafiitista ja PBN: stä, jota käytetään korkealaatuisella CVD -prosessilla (kemiallinen höyryn laskeuma) suurissa puhtauskerrostusolosuhteissa. Jokainen yksittäinen saavutuskerros on talletettu erittäin äärimmäisen hallittavuuden varmistamiseksi erittäin korkean puhtauden ja tasaisten lämpöominaisuuksien varmistamiseksi. Grafiittiydin, joka tarjoaa nopeaa ja tasaista lämmitystä kaikkialla, on suojattu hapettumiselta ja saastumiselta PBN -kapselilla; Tämä tekee lämmittimestä ihanteellisen tyhjökaasuympäristöihin ja inertteihin kaasuympäristöihin. Nämä PBN -lämmittimet on suunniteltu tarkoituksenmukaisesti käytettäväksi MBE: n (molekyylisäteen epitaksi) reaktoreissa, CVD -reaktoreissa ja muissa kidekasvujärjestelmissä.

Pyrolyyttinen boori-nitridipyrolyyttinen grafiitti (PBN-PG) -komposiittilämmitin on lämmitin, joka käyttää substraattina korkeaa eristämistä PBN: tä ja käyttää matalapaineista lämpöhajoamista kemiallista höyryn laskeutumista (CVD) matalapaineessa (alle 10torr) ja korkean lämpötilan johtavan PG: n päällystämiseksi. Tämän komposiittilämmittimen pääkomponentit ovat pyrolyyttinen boorinitridi (PBN) ja pyrolyyttinen grafiitti (PG). Erinomaisen korroosionkestävyyden ja korkean lämpötilankestävyyden vuoksi sitä käytetään pääasiassa puolijohdesubstraatin lämmitykseen (käytetään MBE: ssä, MOCVD: ssä, ruiskutuspinnoitteessa jne.); Suprajohteiden substraatin lämmitys; Näytteen lämmitys näytteen analyysin aikana; elektronimikroskooppinäytteen lämmitys; metallilämmitys; metallin haihtumislämmityslähde jne.

PBN -lämmittimet kestävät jopa 1600 ° C: n käyttölämpötilat tyhjiössä ja niillä on parannettu kyky kestämään lämpöiskuja minkä tahansa metallipohjaisten vaihtoehtojen suhteen, joihin luotat. Lämmittimen pinta on erittäin sileä ja tiheä ja tuottaa huomattavasti vähemmän hiukkasia toiminnan aikana, mikä on kriittistä sovelluksille, joissa saastumista ei voida sietää, kuten puolijohdekiekkojen käsittely.

Komposiittirakenne tarjoaa erinomaisen lämmön tasaisuuden lämmittimen pinnan yli, ja sen resistiivisiä reittejä voidaan räätälöidä räätälöidyn lämmönjakauman mahdollistamiseksi. Tämä malli mahdollistaa nopeat nousevan ja jäähdytyssyklit prosessoinnin aikana halkeilematta ja delamointia käytettyjen materiaalien samojen lämpölaajennuskertoimien vuoksi. Elektrodit kykenevät kestämään jatkuvan korkean virran toiminnan ja ovat myös yhteensopivia tyhjiössä.

Semicorex tarjoaa rajoittamattoman suunnittelun joustavuuden ainutlaatuisille muodoille, kokoille ja sähkövaatimuksille tarvittaessa tiettyjen sovellustarpeiden tyydyttämiseksi; Olipa kyse tavanomaisista kiekkokokoista tai monimutkaisemmista geometrioista, taatamme mitat tarkkuuden ja lämmön tasaisuuden jokaisessa tuotetussa yksikössä.

PBN-komposiittilämmittimet ovat täydellisiä erittäin puhdas sovelluksia, mukaan lukien:

• MBE-järjestelmät III-V- ja II-VI-yhdisteiden puolijohdeprosessoinnille
• Optisten komponenttien tyhjiöpäällystejärjestelmät
• Kidekasvujärjestelmät safiirille ja sicille
• Korkean puhtaan lämpökäsittely tutkimus- ja kehityslaboratorioympäristöissä.