Teknologian solmujen kutistuessa edelleen erittäin matalien liitoskohtien muodostuminen asettaa merkittäviä haasteita. Lämpöhehkutusprosessit, mukaan lukien nopea lämpöhehkutus (RTA) ja flash lamppuhehkutus (FLA) ovat tärkeitä tekniikoita, jotka ylläpitävät korkeaa epäpuhtauksien aktivaationopeutta ......
Lue lisääPuolijohteiden valmistuksessa etsausprosessin tarkkuus ja vakaus ovat ensiarvoisen tärkeitä. Yksi kriittinen tekijä korkealaatuisen syövytyksen saavuttamisessa on varmistaa, että kiekot ovat täysin tasaisesti alustalla prosessin aikana. Mikä tahansa poikkeama voi johtaa epätasaiseen ionipommitukseen......
Lue lisääPiikarbidi (SiC) on laajakaistainen puolijohdemateriaali, joka on saanut viime vuosina suurta huomiota poikkeuksellisen suorituskyvyn ansiosta korkeajännitteisissä ja korkeissa lämpötiloissa. Tässä tutkimuksessa tutkitaan systemaattisesti muunnetuilla prosessiolosuhteilla kasvatettujen piikarbidikit......
Lue lisää