Kuivaetsaus on pääteknologia mikroelektromekaanisten järjestelmien valmistusprosesseissa. Kuivaetsausprosessin suorituskyky vaikuttaa suoraan puolijohdelaitteiden rakenteelliseen tarkkuuteen ja toimintakykyyn. Jotta etsausprosessia voidaan ohjata tarkasti, on kiinnitettävä erityistä huomiota seuraav......
Lue lisääPiikarbidin aerostaattinen liukukäytävä on edistynyt ohjausratajärjestelmä, jossa yhdistyvät piikarbidin materiaaliominaisuudet ja aerostaattinen tekniikka. Huolto optimaalisena ratkaisuna erittäin tarkkoihin, erittäin luotettaviin ja pitkäaikaisiin liikejärjestelmiin, piikarbidin aerostaattinen liu......
Lue lisääPäävirtamenetelmä piikarbidin yksittäiskiteiden valmistamiseksi on fyysinen höyrynsiirtomenetelmä (PVT). Tämä menetelmä koostuu pääasiassa kvartsiputken ontelosta, lämmityselementistä (induktiokela tai grafiittilämmitin), grafiittihiilihuopaeristemateriaalista, grafiittiupokkaasta, piikarbidin sieme......
Lue lisääSOI, lyhenne sanoista Silicon-On-Insulator, on puolijohteiden valmistusprosessi, joka perustuu erityisiin substraattimateriaaleihin. 1980-luvulla tapahtuneesta teollistumisestaan lähtien tästä tekniikasta on tullut tärkeä osa kehittyneitä puolijohteiden valmistusprosesseja. Ainutlaatuisesta kolmik......
Lue lisääSähköstaattinen istukka suorittaa useita toimintoja, kuten tasaisen sähköstaattisen purkauksen, lämmönjohtavuuden ja kiekkojen adsorption ja kiinnityksen puolijohteiden valmistuksen alalla. Yksi ESC:n ydintehtävistä on adsorboida kiekkoja vakaasti äärimmäisissä käyttöolosuhteissa, kuten suuressa tyh......
Lue lisää