Erityyppisten reaktorien rakenteelliset erot

Reaktiokammion kokoonpanon perusteella lämpökäsittelylaitteet (uuniputkilaitteet) jaetaan pääasiassa kolmeen luokkaan: pystysuorat uuniputket, vaakasuuntaiset uuniputket ja nopean lämpökäsittelyn (RTP) uunit.

Pystysuuntaisissa uuniputkissa on pystysuoraan järjestetyt kvartsiputket, joiden ympärille on asetettu kiekot lämmittämään. Niiden tärkeimmät edut ovat tasainen lämpötilan jakautuminen, tarkka ilmakehän hallinta, korkea automaatio, pienempi hiukkaskontaminaatio, pieni jalanjälki ja tuki eräkäsittelylle (sopii erityisesti 12 tuuman kiekkoille), mikä tekee niistä yleisimpiä tällä hetkellä saatavilla olevia laitteita. Maailmanmarkkinat nousivat 3,2 miljardiin dollariin vuonna 2024 (SEMI-tiedot). Niiden haittoja ovat kaasun ja nesteen helppo erottaminen ja väliaineen alaspäin suuntautuva virtaus, joka saattaa aiheuttaa uuniputken palamisen.

Vaakasuuntaisissa uuniputkissa on vaakasuoraan sijoitetut kvartsiputket, jotka käsittelevät 100-200 kiekkoa kerrallaan. Niiden etuja ovat tasainen kaasu-nestevirtaus uuniputkessa ja tarkempi lämpötilan säätö. Niiden haittoja ovat suurempi jalanjälki ja korkea seosteräksisten väliputkitukien kulutus. Rakenteellisesti vaakasuuntaiset uuniputket sijoittavat kiekot pystysuoraan vaakasuuntaisiin putkiin käsittelyä varten.

Nopea lämpöhehkutus (RTP) -uuneissa käytetään halogeeni-infrapunalamppuja yksittäisten kiekkojen nopeaan lämmittämiseen, mikä tarjoaa nopeat lämmitys- ja jäähdytysnopeudet, jotka muuttavat vain kiekon lämpötilaa muuttamatta kammion lämpötilaa. Ne soveltuvat pienieräiseen nopeaan hehkutukseen, mutta eivät massatuotantoon.

Kiekkokäsittelyssä vaakasuuntaiset uuniputket asettavat kiekon kvartsiveneen päälle, joka puolestaan ​​lepää piikarbidin (SiC) tukikehyksen päällä. Tämän jälkeen tukikehys työnnetään kvartsiuunin putkeen, jossa kiekko käy läpi reaktion vakiolämpötila-alueella. Pystysuorat uuniputket puolestaan ​​asettavat kiekon kvartsitornille ja nostavat sen hitaasti kvartsiuunin putkeen käsittelyä varten. Reaktion jälkeen kiekko lasketaan hitaasti alas taipumisen tai rikkoutumisen estämiseksi.

Semicorex toimittaa korkealaatuisia räätälöityjäkvartsiuunireaktori. Tuotteemme on suunniteltu tarjoamaan erinomaista lämpöstabiilisuutta, pidennettyä käyttöikää ja poikkeuksellista prosessin johdonmukaisuutta. Räätälöityjä ratkaisuja tai teknisiä lisätietoja varten ota rohkeasti yhteyttä suunnittelutiimiimme.

Puhelin: +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com