Piikarbidikiekkovene

Puolijohteiden valmistuksessa hapetukseen liittyy kiekon sijoittaminen korkean lämpötilan ympäristöön, jossa happi virtaa kiekon pinnan poikki muodostaen oksidikerroksen. Tämä suojaa kiekkoa kemiallisilta epäpuhtauksilta, estää vuotovirran pääsyn piiriin, estää diffuusion ionin istutuksen aikana ja estää kiekkojen liukumisen etsauksen aikana muodostaen suojakalvon kiekon pintaan. Tässä vaiheessa käytetty laite on hapetusuuni. Reaktiokammion pääkomponentteja ovat kiekkovene, pohja, uunin vuorausputket, uunin sisäputket ja lämmöneristyslevyt. Korkeasta käyttölämpötilasta johtuen myös reaktiokammion komponenttien suorituskykyvaatimukset ovat korkeat.

Thekiekkovenekäytetään alustana kiekkojen kuljetuksessa ja käsittelyssä. Sillä pitäisi olla etuja, kuten korkea integrointi, korkea luotettavuus, antistaattiset ominaisuudet, korkean lämpötilan kestävyys, kulutuskestävyys, muodonmuutoskestävyys, hyvä vakaus ja pitkä käyttöikä. Koska kiekkojen hapetuslämpötila on noin 800 ℃ - 1300 ℃ ja vaatimukset ympäristön metalliepäpuhtauksien pitoisuudelle ovat erittäin tiukat, avainkomponenteilla, kuten kiekkoveneellä, tulee olla paitsi erinomaisia ​​lämpö-, mekaanisia ja kemiallisia ominaisuuksia, myös erittäin alhainen metalliepäpuhtauspitoisuus. Substraatin perusteella ne voidaan jakaa kvartsikiekkoveneisiin, piikarbidikeraamisiin kiekkoveneisiin jne. Kuitenkin, kun prosessisolmut ovat edenneet alle 7 nm:n ja korkean lämpötilan prosessiikkunoita laajennetaan, perinteiset kvartsiveneet ovat vähitellen käymässä riittämättömiksi lämmönkestävyyden, hiukkasten hallinnan ja käyttöiän suhteen. Piikarbidiveneet (SiC) korvaavat vähitellen perinteisiä kvartsiratkaisuja.

1. Puolijohteiden valmistus

Sirujen valmistuksen korkean lämpötilan prosesseissa, kuten hapetus, diffuusio, kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja ioni-istutus, piikiekkoja käytetään tukemaan piikiekkoja varmistaen, että kiekot pysyvät litteinä korkeissa lämpötiloissa ja estävät hilan vääristymiä tai termisen jännityksen aiheuttamia muodonmuutoksia, mikä takaa sirun tarkkuuden ja suorituskyvyn.

2. Aurinkosähköteollisuus

Piikarbidikeramiikalla on erinomainen mekaaninen lujuus, lämpöstabiilisuus, korkeiden lämpötilojen kestävyys, hapettumisenkestävyys, lämpöiskun kestävyys ja kemiallinen korroosionkestävyys, ja niitä käytetään laajalti suosituilla aloilla, kuten metallurgiassa, koneissa, uudessa energiassa ja rakennusmateriaalikemikaalissa. Sen suorituskyky riittää myös aurinkosähkön valmistuksen lämpöprosesseihin, kuten diffuusioon, LPCVD:hen (matalapaineinen kemiallinen höyrypinnoitus) ja PECVD (plasmakemiallinen höyrypinnoitus) TOPcon-kennoissa. Perinteisiin kvartsimateriaaleihin verrattuna keraamiset piikarbidimateriaalit, joita käytetään veneen kannattimien, pienten veneiden ja putkimaisten tuotteiden valmistukseen, tarjoavat suuremman lujuuden, paremman lämpöstabiilisuuden eivätkä muodonmuutoksia korkeissa lämpötiloissa. Niiden käyttöikä on myös yli viisinkertainen kvartsiin verrattuna, mikä vähentää merkittävästi käyttökustannuksia ja huollon seisokkien aiheuttamia energiahäviöitä. Tästä on selkeä kustannusetu ja raaka-aineet ovat laajasti saatavilla.

3. Kolmannen sukupolven puolijohdeteollisuus

Metalli-orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusreaktiokammioissa (MOCVD) piikarbidiveneitä käytetään tukemaan safiirialustoja, jotka kestävät syövyttäviä kaasuympäristöjä, kuten ammoniakkia (NH3), tukevat kolmannen sukupolven puolijohdemateriaalien, kuten galliumnitridin (GaN) epitaksiaalista kasvua ja parantavat LED-sirujen tehokkuutta. Piikarbidin yksikiteiden kasvatuksessa piikarbidiveneet toimivat siemenkiteiden tukina piikarbidin yksikidekasvatusuuneissa, jotka kestävät sulan piin korkean lämpötilan syövyttävää ympäristöä, tarjoavat vakaan tuen piikarbidin yksikiteiden kasvulle ja edistävät korkealaatuisten piikarbidin yksikiteiden valmistusta.

Semicorex toimittaa korkealaatuista piikarbidikeramiikkaavohveliveneitä. Tuotteemme on suunniteltu tarjoamaan erinomaista lämpöstabiilisuutta, pidennettyä käyttöikää ja poikkeuksellista prosessin johdonmukaisuutta. Räätälöityjä ratkaisuja tai teknisiä lisätietoja varten ota rohkeasti yhteyttä suunnittelutiimiimme.

Puhelin: +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com