Miksi valita SiC-päällystetyt grafiittisuskeptorit?

Grafiittisuskeptorion yksi MOCVD-laitteiston olennaisista osista, on kiekkosubstraatin kantaja ja lämmitin. Sen lämpöstabiilisuuden ja lämpötasaisuuden ominaisuudet ovat ratkaisevassa roolissa kiekkojen epitaksiaalisen kasvun laadussa, mikä määrää suoraan kerrosmateriaalien tasaisuuden ja puhtauden, minkä seurauksena sen laatu vaikuttaa suoraan epitaksin valmistukseen. Sillä välin käyttömäärien lisääntyessä ja työolojen muuttuessa se on erittäin helppo menettää ja kuuluu kulutustavaroihin. Grafiitin erinomainen lämmönjohtavuus ja stabiilisuus tekevät siitä hyvän edunperuskomponentti MOCVD-laitteille. Kuitenkin, jos käytetään vain puhdasta grafiittia, se kohtaa joitain ongelmia. Tuotantoprosessissa tulee syövyttäviä kaasuja ja metalliorgaanisia jäämiä, ja grafiittipohja syöpyy ja pudottaa jauheen, mikä lyhentää huomattavasti laitteen käyttöikää.grafiittisuskeptori, ja pudonnut grafiittijauhe saastuttaa myös lastua, joten pohjan valmisteluprosessissa myös Nämä ongelmat on ratkaistava alustan valmistuksen aikana. Päällystystekniikka voi tarjota pintajauheen kiinnityksen, parantaa lämmönjohtavuutta ja tasata lämmön jakautumista, josta tulee tärkein tekniikka tämän ongelman ratkaisemiseksi. Tärkein tekniikka on ratkaista tämä ongelma. Sovellusympäristön ja vaatimusten mukaangrafiittisuskeptorit, pintapinnoitteella tulee olla seuraavat ominaisuudet.

Suuret tiheydet ja täysi kääre: grafiittipohja kokonaisuudessaan on korkeassa lämpötilassa, syövyttävässä työympäristössä, pinnan on oltava täysin kääritty, kun taas pinnoitteen tiheyden on oltava hyvä, jotta se toimii hyvin.

Hyvä pinnan tasaisuus: Koska yksikiteiden kasvattamiseen käytetty grafiittipohja vaatii erittäin korkeaa pinnan tasaisuutta, pohjan alkuperäinen tasaisuus on säilytettävä pinnoitteen valmistuksen jälkeen, eli pinnoitteen pinnan tulee olla tasainen.

Hyvä sidoslujuus: Grafiittipohjan ja pinnoitemateriaalin välisen lämpölaajenemiskertoimen eron vähentäminen voi tehokkaasti parantaa niiden välistä sidoslujuutta, ja pinnoitetta ei ole helppo murtaa korkean ja matalan lämpötilan lämpösyklien jälkeen.

Korkea lämmönjohtavuus: Laadukas lastun kasvu vaatii nopeaa ja tasaista lämpöä grafiittipohjasta, joten pinnoitemateriaalin lämmönjohtavuuden tulee olla korkea.

Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisen ja korroosionkestävyys: Pinnoitteen tulee pystyä toimimaan vakaasti korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.