Koti > Uutiset > Teollisuuden uutisia

MOCVD on avainvaruste

2023-05-18

MOCVD-laitteet ovat puolijohdeteollisuuden tuotantoprosessin avainlaitteet, mutta myös suuri osa puolijohdeteollisuuden ketjun laiteinvestoinneista (kolme ydinprosessia ja laitteet: litografia, etsaus, ohutkalvopinnoitus), LED-tuotantolinjainvestointi, MOCVD Investoinnin määrä voi olla jopa 50 prosenttia. CVD-laitteissa substraattia ei voida asettaa suoraan metallin päälle tai yksinkertaisesti sijoittaa alustan päälle epitaksiaalista kerrostusta varten, koska siihen vaikuttavat useat tekijät, kuten kaasun virtaussuunta (vaaka, pystysuora), lämpötila, paine, kiinnitys. , irtoaa epäpuhtauksia. Siksi käytetään alustaa ja substraatti asetetaan levylle ja sen jälkeen suoritetaan epitaksiaalinen kerrostus substraatin päälle käyttämällä CVD-tekniikkaa. Tämä pohja on SiC-pinnoitettua grafiittiasuskeptori(jota voidaan myös kutsua aharjoittaja), ja sen rakenne näkyy alla olevassa kuvassa.


X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept