Mikä on SiC-vene ja mitkä ovat sen erilaiset valmistusprosessit?

1. Erilaiset valmistusprosessitSiC vene

(1) Päällystys kerrosSiC kalvografiitin pinnallekristalliveneetCVD:n kautta

Tämän tyyppisessä veneessä on grafiittiydin, joka on koneistettu yhtenä kappaleena. Kuitenkin,grafiitti on huokoistaja alttiita hiukkasten muodostumiselle, mikä edellyttää aSiC-kalvopinnoitesen pinnalla. Koska lämpölaajenemiskerroin (CTE) ei täsmää grafiittirungon jaSiC kalvo, pinnoite todennäköisesti kuoriutuu pois useiden lämmitys- ja jäähdytysjaksojen jälkeen, mikä johtaa hiukkaskontaminaatioon. Nämä veneet ovat edullisimpia ja niiden käyttöikä on noin vuosi.

(2) Päällystys kerrosSiC kalvouudelleenkiteytettynäSiC-kristalliveneitä

UudelleenkiteytettySiC veneitäovat myös huokoisia ja voivat muodostaa helposti hiukkasia. Siksi yksittäiset komponentit uudelleenkiteytettiinSiC veneitäon esimuovattava, sintrattava ja sitten työstettävä erikseen. Sen jälkeen komponentit liitetään yhteen korkeissa lämpötiloissa käyttämällä Si-pastaa. Kun se on koottu yhdeksi veneeksi, aSiC kalvosovelletaan CVD:n kautta. Tämä kiteytyi uudelleenSiC veneon pisin valmistusprosessi ja kallista, mutta pintaCVD-pinnoitevoi myös vaurioitua, ja niiden käyttöikä on noin kolme vuotta.

(3)MonoliittinenSiC-kristalliveneitä

Nämäveneitäkoostuvat kokonaan piikarbidista. Piikarbidijauhe on muovattava ja sintrattava monoliittisen veneen muotoon. Erittäin kalliita, ne ovat erittäin kestäviä ja vähemmän todennäköisesti muodostavat hiukkasia. Nämä veneet sisältävät kuitenkin 10-15 % vapaata piitä, joka on herkkä fluorin ja kloorin aiheuttamalle eroosiolle, mikä johtaa hiukkaskontaminaatioon.

2. Miksi kuivapesua ei suositella?

Yhteenvetona, vartenSiC veneitäpäällystetty aSiC-kalvo CVD:n kautta, pintapinnoite on altis hilseilylle kuivapesun aikana, mikä aiheuttaa hiukkaskontaminaation. MonoliittinenSiC veneitäjotka sisältävät pienen määrän vapaata piitä, altistuminen fluoria tai klooria sisältäville kaasuille voi johtaa eroosioon ja hiukkasten muodostumiseen, mikä aiheuttaa kontaminaatiota.**