Huokoisten grafiittimateriaalien merkitys piikarbidin kiteiden kasvulle

Semicorexin piikarbidikidekasvatusuunikomponentti,huokoinen grafiittitynnyri, tuo kolme suurta etua ja voi tehokkaasti vahvistaa kotimaan kilpailukykyäSiC-substraatit:

• Pienennä piikarbidin kiteiden kasvukomponenttien kustannuksia;
• Lisää piikarbidikiteen paksuutta ja pienennä alustan kokonaiskustannuksia;
• Paranna piikarbidikiteiden saantoa ja lisää yritysten kilpailukykyä.

Huokoisten grafiittilevyjen lisääminen piikarbidikiteiden kasvatusuuneihin on yksi alan kuumista kohdista. On todistettu, että lisäämällä ahuokoinen grafiittipiikarbidin lähdejauheen yläpuolella saavutetaan hyvä massansiirto kidealueella, mikä voi parantaa erilaisia ​​perinteisissä kiteenkasvatusuuneissa esiintyviä teknisiä ongelmia.

(a) Perinteinen kiteenkasvatusuuni, (b) Kiteenkasvatusuuni huokoisella grafiittilevyllä

Lähde: Dongui University, Etelä-Korea

Kokeet ovat osoittaneet, että perinteisiä kiteenkasvatusuuneja käytettäessä SiC-substraateissa on yleensä erilaisiapolymorfeja, kuten 6H ja 15R-SiC, kun taasSiC-substraatitvalmistettu käyttämällä vain huokoisia grafiittipohjaisia ​​kiteenkasvatusuuneja4H-SiC yksikiteinen. Lisäksi mikroputken tiheys (MPD) ja etsauskuopan tiheys (EPD) ovat myös merkittävästi pienentyneet. Kahden kiteen kasvatusuunin MPD on 6-7EA/cm2 ja 1-2EA/cm2, mikä voi ollavähentää jopa 6 kertaa.

Semicorex on myös käynnistänyt uuden "kertaluonteisen massasiirron" prosessin, joka perustuuhuokoiset grafiittilevyt. Huokoisella grafiitilla on erittäin hyväpuhdistuskyky. Uudessa prosessissa käytetään uutta lämpökenttää primääriseen massansiirtoon, mikä tekee massansiirron tehokkuudesta parantuneen ja periaatteessa vakiona, mikä vähentää uudelleenkiteytymisen vaikutusta (välttää sekundaarista massansiirtoa), vähentää tehokkaasti mikrotubulusten tai muiden niihin liittyvien kidevikojen riskiä. Lisäksi huokoinen grafiitti on myös yksi ydinteknologioista piikarbidin kiteiden kasvun ja paksuuden ongelman ratkaisemiseksi, koska se voi tasapainottaa kaasufaasikomponentteja, eristää epäpuhtauksia, säätää paikallista lämpötilaa ja vähentää fyysisiä hiukkasia, kuten hiilikäärettä. Olettaen, että kristallia voidaan käyttää,kristallin paksuusvoidaan vähentää. voi kasvaa merkittävästi.

Tekniset ominaisuudetSemicorex-huokoinen grafiitti:

Huokoisuus voi olla jopa 65 %;

Huokoset jakautuvat tasaisesti;

korkea erän stabiilisuus;

Suuri lujuus, voi saavuttaa ≤1 mm erittäin ohuen lieriömäisen muodon.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistahuokoinen grafiittiosat. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com