MOCVD:n tunteminen

MOCVD on uusi höyryfaasiepitaksiaalinen kasvuteknologia, joka on kehitetty höyryfaasiepitaksiaalisen kasvun (VPE) pohjalta. MOCVD käyttää III- ja II-alkuaineiden orgaanisia yhdisteitä sekä V- ja VI-alkuaineiden hydridejä kiteiden kasvun lähdemateriaaleina. Se suorittaa höyryfaasiepitaksia substraatille termisen hajoamisreaktion avulla kasvattaakseen erilaisia ​​III-V-pääryhmiä, II-VI-alaryhmän yhdistepuolijohteiden ohutkerroksisia yksikidemateriaaleja ja niiden monielementtisiä kiinteitä liuoksia. Yleensä kiteen kasvatus MOCVD-järjestelmässä suoritetaan kylmäseinäisessä kvartsi (ruostumaton teräs) reaktiokammiossa, jossa H2 virtaa normaalipaineessa tai matalapaineessa (10-100 Torr). Alustan lämpötila on 500-1200°C ja grafiittipohja kuumennetaan tasavirralla (Substraattialusta on grafiittipohjan päällä), ja H2:ta kuplitetaan lämpötilasäädellyn nestelähteen läpi metalli-orgaanisten yhdisteiden kuljettamiseksi kasvuvyöhyke.

MOCVD:llä on laaja valikoima sovelluksia, ja se voi kasvattaa melkein kaikkia yhdisteitä ja seospuolijohteita. Se soveltuu hyvin erilaisten heterorakennemateriaalien kasvattamiseen. Se voi myös kasvattaa erittäin ohuita epitaksiaalikerroksia ja saada erittäin jyrkkiä rajapintamuutoksia. Kasvua on helppo hallita ja se voi kasvaa erittäin puhtaana. Laadukkaat materiaalit, epitaksiaalinen kerros on tasainen suurella alueella ja sitä voidaan valmistaa suuressa mittakaavassa.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaCVD SiC pinnoitegrafiittiosat. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com