AlN-kiteiden kasvumenetelmät

AlN, kolmannen sukupolven puolijohdemateriaalina, ei ole vain tärkeä sini- ja ultraviolettivalomateriaali, vaan myös tärkeä pakkaus-, dielektrinen eristys- ja eristysmateriaali elektroniikkalaitteille ja integroiduille piireille, mikä sopii erityisesti korkean lämpötilan ja suuritehoisille laitteille. . Lisäksi AlN:lla ja GaN:lla on hyvä lämpösovitus ja kemiallinen yhteensopivuus, GaN-epitaksiaalisubstraattina käytetty AlN voi vähentää merkittävästi GaN-laitteiden vikatiheyttä ja parantaa laitteen suorituskykyä.

Houkuttelevien sovellusmahdollisuuksien ansiosta korkealaatuisten, suurikokoisten AlN-kiteiden valmistus on saanut suurta huomiota tutkijoilta kotimaassa ja ulkomailla. Tällä hetkellä AlN-kiteitä valmistetaan liuosmenetelmällä, alumiinimetallin suoralla nitridauksella, hydridikaasufaasiepitaksialla ja fysikaalisella höyryfaasikuljetuksella (PVT). Niistä PVT-menetelmästä on tullut AlN-kiteiden kasvattamisen valtavirtateknologia korkealla kasvunopeudellaan (jopa 500-1000 μm/h) ja korkealla kidelaadullaan (dislokaatiotiheys alle 103 cm-2).

AlN-kiteiden kasvu PVT-menetelmällä saadaan aikaan sublimaatiolla, kaasufaasikuljetuksella ja AlN-jauheen uudelleenkiteyttämisellä, ja kasvuympäristön lämpötila on jopa 2 300 ℃. Perusperiaate AlN-kiteiden kasvattamiseksi PVT-menetelmällä on suhteellisen yksinkertainen, kuten seuraava yhtälö osoittaa:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Kasvuprosessin päävaiheet ovat seuraavat: (1) AlN-raakajauheen sublimointi; (2) raaka-aineen kaasufaasikomponenttien kuljetus; (3) kaasufaasikomponenttien adsorptio kasvupinnalle; (4) pintadiffuusio ja ydintyminen; ja (5) desorptioprosessi [10]. Normaalissa ilmakehän paineessa AlN-kiteet alkavat hajota hitaasti Al-höyryksi ja typeksi vasta noin 1 700 ℃:n lämpötilassa, ja AlN:n hajoamisreaktio voimistuu nopeasti lämpötilan saavuttaessa 2 200 ℃.

TaC-materiaali on todellinen käytössä oleva AlN-kidekasvatusupokasmateriaali, jolla on erinomaiset fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet, erinomainen lämmön- ja sähkönjohtavuus, kemiallinen korroosionkestävyys ja hyvä lämpöiskunkestävyys, mikä voi parantaa tehokkaasti tuotannon tehokkuutta ja käyttöikää.

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaTaC-pinnoitetuotteetmukautetulla palvelulla. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com