Mikä on diffuusiouuni?

Diffuusiouuni on erikoislaite, jota käytetään epäpuhtauksien lisäämiseen puolijohdekiekoihin hallitusti. Nämä epäpuhtaudet, joita kutsutaan seostusaineiksi, muuttavat puolijohteiden sähköisiä ominaisuuksia, mikä mahdollistaa erityyppisten elektronisten komponenttien valmistamisen. Tämä ohjattu diffuusioprosessi on kriittinen transistorien, diodien ja integroitujen piirien tuotannossa.

Diffuusiouunit koostuvat useista avainkomponenteista, mukaan lukien prosessiputket, lämmityselementit, ilmanottomekanismit ja ohjausjärjestelmät. Prosessiputki toimii kammiona, johon kiekko asetetaan. Se kestää korkeita lämpötiloja ja syövyttäviä kaasuja, joten se on ihanteellinen materiaali tähän sovellukseen.

Lämmityselementit antavat tarvittavan lämmön uunin lämpötilan nostamiseksi halutulle tasolle. Diffuusiouuneissa lämpötilat ovat tyypillisesti jopa 1200°C. Tasaisen lämmityksen takaamiseksi lämmityselementit on usein järjestetty kierteiseen muotoon.

Kaasun sisääntulomekanismia käytetään lisäainekaasun syöttämiseen uuniin. Yleisiä seostusaineita ovat boori, fosfori ja arseeni, riippuen lopullisen puolijohdetuotteen halutuista sähköisistä ominaisuuksista. Ohjausjärjestelmä säätelee lisäainekaasun virtausta ja ylläpitää tarkkaa hallintaa diffuusioprosessissa.

Diffuusiouuneja käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa. Niitä käytetään dopingprosessissa, joka luo pn-liitoksia transistoreihin ja diodeihin. Diffuusiouuneissa on myös tärkeä rooli integroitujen piirien valmistuksessa, jossa useita kerroksia eri puolijohteita on pinottu ja kytketty toisiinsa.

Lisäksi diffuusiouunit ovat välttämättömiä kehittyneiden puolijohdelaitteiden, kuten teho-MOSFET:ien (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) ja Insulated Gate Bipolar Transistorien (IGBT) valmistuksessa. Nämä laitteet ovat niin tärkeitä tehoelektroniikassa ja uusiutuvan energian teknologiassa, että diffuusiouunit ovat olennainen osa niiden tuotantoa.

Diffuusiouunit ovat kriittisiä työkaluja puolijohteiden valmistuksessa, mikä mahdollistaa seostusaineiden hallitun lisäämisen puolijohdekiekoihin. Nämä uunit ovat olennainen osa erilaisten puolijohdelaitteiden, kuten transistorien, diodien ja integroitujen piirien, tuotantoa. Teknologian kehittyessä diffuusiouunien ominaisuudet kasvavat edelleen, mikä mahdollistaa entistä tarkemmat ja luotettavammat valmistusprosessit. Puolijohdeteollisuus on vahvasti riippuvainen näistä uuneista vastatakseen kehittyneiden elektronisten laitteiden kasvavaan kysyntään.

Semicorex valmistaa räätälöityjä piikarbidiosia diffuusiouuneihin. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com