SiC Epitaxy

Epitaksiaa on kahta tyyppiä: homogeeninen ja heterogeeninen. Jotta SiC-laitteita, joilla on spesifinen vastus ja muut parametrit eri sovelluksiin, voidaan valmistaa, substraatin on täytettävä epitaksian edellytykset ennen tuotannon aloittamista. Epitaksian laatu vaikuttaa laitteen suorituskykyyn.

Tällä hetkellä on olemassa kaksi pääasiallista epitaksiaalista menetelmää. Ensimmäinen on homogeeninen epitaksi, jossa piikarbidikalvo kasvatetaan johtavalle piikarbidisubstraatille. Tätä käytetään ensisijaisesti MOSFET-, IGBT- ja muiden korkeajännitteisten tehopuolijohdekenttien yhteydessä. Toinen on heteroepitaksiaalinen kasvu, jossa GaN-kalvoa kasvatetaan puolieristävällä SiC-substraatilla. Tätä käytetään GaN HEMT:ssä ja muissa pien- ja keskijännitetehopuolijohteissa sekä radiotaajuus- ja optoelektronisissa laitteissa.

Epitaksiaalisiin prosesseihin kuuluvat sublimaatio tai fyysinen höyrynkuljetus (PVT), molekyylisuihkuepitaksia (MBE), nestefaasiepitaksia (LPE) ja kemiallinen höyryfaasiepitaksi (CVD). Yleisessä piikarbidin homogeenisessa epitaksiaalisessa tuotantomenetelmässä käytetään H2:ta kantokaasuna, silaania (SiH4) ja propaania (C3H8) Si:n ja C:n lähteinä. SiC-molekyylejä tuotetaan kemiallisella reaktiolla saostuskammiossa ja kerrostetaan piikarbidisubstraatille. .

SiC-epitaksian tärkeimmät parametrit ovat paksuus ja seostuspitoisuuden tasaisuus. Kun alavirran laitteen sovellusskenaarion jännite kasvaa, epitaksiaalikerroksen paksuus kasvaa vähitellen ja seostuspitoisuus pienenee.

Yksi rajoittava tekijä piikarbidin kapasiteetin rakentamisessa on epitaksiaalinen laitteisto. Tällä hetkellä italialainen LPE, saksalainen AIXTRON ja japanilainen Nuflare ja TEL ovat monopolisoineet epitaksiaaliset kasvulaitteet. Valtavirran piikarbidin korkean lämpötilan epitaksiaalisten laitteiden toimitussykli on pidennetty noin 1,5-2 vuoteen.

Semicorex tarjoaa SiC-osia puolijohdelaitteisiin, kuten LPE, Aixtron jne. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com