Tietoja piikarbidikiteiden vioista - Micropipe

SiC-substraatissa voi olla mikroskooppisia vikoja, kuten kierreruuvin dislokaatio (TSD), kierrereunan dislokaatio (TED), perustason dislokaatio (BPD) ja muita. Nämä viat johtuvat poikkeamista atomien järjestelyssä atomitasolla. SiC-kiteissä voi myös olla makroskooppisia dislokaatioita, kuten Si- tai C-sulkeumia, mikroputkia, kuusikulmaisia ​​onteloita, polymorfeja jne. Nämä dislokaatiot ovat tyypillisesti suuria.

Yksi suurimmista ongelmista piikarbidilaitteiden valmistuksessa on kolmiulotteiset mikrorakenteet, jotka tunnetaan nimellä "mikroputki" tai "neulanreiät", jotka ovat tyypillisesti kooltaan 30-40um ja 0,1-5um. Näiden mikroputkien tiheys on 10-10³/cm², ja ne voivat tunkeutua epitaksiaaliseen kerrokseen, mikä johtaa laitteen tappamiseen. Ne johtuvat ensisijaisesti spirodislokaatioiden ryhmittymisestä ja niitä pidetään ensisijaisena esteenä SiC-laitteiden kehittämisessä.

Substraatin mikrotubulusvirheet aiheuttavat muita kasvuprosessin aikana epitaksiaaliseen kerrokseen muodostuvia vikoja, kuten onteloita, erilaisten polymorfien sulkeumia, kaksoset jne. Siksi tärkeintä on tehdä substraattimateriaalin kasvuprosessin aikana. korkeajännitteisille ja suuritehoisille SiC-laitteille on tarkoitus vähentää mikrotubulusvirheiden muodostumista bulkki-SiC-kiteissä ja estää niitä pääsemästä epitaksiaaliseen kerrokseen.

Mikroputkea voidaan pitää pieninä kuoppina, ja optimoimalla prosessin olosuhteet voidaan "täyttää kuoppia" pienentääksesi mikroputken tiheyttä. Useat kirjallisuuden tutkimukset ja kokeelliset tiedot ovat osoittaneet, että haihdutusepitaksi, CVD-kasvu ja nestefaasiepitaksi voivat täyttää mikroputken ja vähentää mikroputken muodostumista ja dislokaatioita.

Semicorex hyödyntää MOCVD-tekniikkaa luodakseen piikarbidipinnoitteita, jotka vähentävät tehokkaasti mikroputkien tiheyttä ja johtavat huippulaatuisiin tuotteisiin. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com