Huokoinen alumiinioksidityhjiöistukka

Tyhjiöistukka on liitetty imulaitteeseen liitosputken kautta. Kun alipaineistukka joutuu kosketuksiin työkappaleen, kuten kiekon/ohutkalvomateriaalin, kanssa, imulaite alkaa toimia ja muodostaa alipaineen alipaineistukan sisään. Ilmakehän paineessa työkappale kiinnittyy tiukasti tyhjiöistukkaan, mikä mahdollistaa käsittelyn. Kun työstö on valmis, tyhjiölaitteisto lakkaa toimimasta ja täyttää tyhjiöistkan hitaasti kaasulla erottaen automaattisesti työkappaleen istukasta. Tämä viimeistelee työkappaleen kiinnityksen, käsittelyn ja käsittelyn.

Puolijohdefotolitografian ydintavoite on "tulostaa" miljardeja transistoripiirikuvioita kiekolle nanometrin tarkkuudella. "Fotolitografian" ydin on käyttää valonlähdettä erittäin valoherkän fotoresistin säteilyttämiseen, mikä aiheuttaa kemiallisen reaktion, joka syövyttää piirin. Kuitenkin, kun valonlähde säteilyttää kiekon, se väistämättä loistaa myös sähköstaattiseen istukkaan, joka toimii kiekon kantajana. Tuloksena oleva heijastunut toisiovalo voi häiritä fotolitografiaprosessia aiheuttaen altistumista tahattomille alueille ja vaurioittaen piiriä. Siksi alipaineistukan musta pinta minimoi heijastuksen ja varmistaa fotolitografiajärjestelmän tarkkuusvaatimukset. Tämän ominaisuuden perusteella mustaa alumiinioksidia voidaan käyttää laajasti paitsi sähköstaattisissa istukkaissa myös "valoa vaimentavissa" skenaarioissa. Tekoälyn aikakauden tulo on mahdollistanut merkittävän kehityksen optisissa viestintäsovelluksissa, ja mustia alumiinioksidisubstraatteja nähdään usein optoelektronisten laitteiden ja valoa emittoivien elementtien pakkauksissa.

Musta alumiinioksidikeramiikkaon valmistettu pääasiassa Al2O3:sta, johon on lisätty siirtymämetallioksideja väriaineina ja sintrausapuaineita, sintrattu tietyssä lämpötilassa. Väriaine on tämän tyyppisen keramiikan tärkeä komponentti, joka määrittää sen lopullisen värin. Vakuumiistukkaiden väriaineita valittaessa on tärkeää varmistaa alipaineistukan väriaste, mekaaninen lujuus, huokoisuus ja huokoskoko.

Tällä hetkellä yleisesti käytettyjä siirtymämetallioksideja väriaineina sekä kotimaassa että kansainvälisesti ovat Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 ja MnO2, joista Fe2O3, CoO, NiO ja MnO2 ovat yleisimpiä. Koska alumiinioksidi on vähemmän haihtuvaa korkeissa lämpötiloissa, kun taas siirtymämetallioksidit ovat päinvastaisia, niiden haihtuvuus kasvaa lämpötilan myötä. Nämä oksidit muodostavat spinellityyppisiä yhdisteitä korkean lämpötilan sintrauksen aikana, mikä vähentää niiden haihtuvuutta. Siksi siirtymämetallioksidien haihtumisen estämiseksi tulee valita sopivat prosessiolosuhteet, jotta ne voivat yhdistyä spinellityyppisiksi yhdisteiksi alemmissa lämpötiloissa.

Semicorex tarjoaa tulliahuokoinen keraaminen imuistukka. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com